主要配置： 机架：可移动式机架一套，控制电源盒一套，真空计托盘一套。 分子泵(可选) ：中科科仪******/***分子泵及分子泵控制器一套，**口或**口； 机械泵（可选）：****机械泵（油润滑），抽速**/* 真空计：中科科仪********型复合真空计（含电阻规，金属电离规），测量范围：*******~****** **； 过渡腔：不锈钢，预留****口, 以上所有硬件，全部集成安装在可移动小车上，组成一套真空机组。 主要指标： 极限真空度：空载冷态********；对空气抽速：****/*；冷却方式：水冷或风冷； 供电方式：****，***。 选配件：****手动阀门一个，****波纹管一根

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