Slitho光刻模拟软件（清采比选20252073号）采购公告
2025-11-06
北京 招标采购
Slitho光刻模拟软件（清采比选20252073号）采购公告
北京-2025-11-06 00:00:00
北京-2025-11-06 00:00:00
******光刻模拟软件（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | ******光刻模拟软件 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后**个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 货到付款***% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
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采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| ******光刻模拟软件 | * | 套 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
用于光刻仿真，可分析工艺限制对曝光工具的影响，优化掩模设计。支持光学邻近效应校正（***）模型生成与验证，并与****工具无缝集成，实现复杂集成技术（如双图案化）的模拟。 *详细技术规格 */*实际能力 *.*具备图形接口化操作系统 *.*支持多核心运做计算 *.*透过全物理基础运算取代一般***所使用的数学近似 *.*支持脚本指令执行运算功能 *.*支持******* ******模拟运算 *.*支持由光学仿真运算，提供***光罩图形的光强分布与数值 *.*支持业界主流***图形档案读取做为仿真计算的图形，如***, *** *.*支持****** **模拟运算 *.*支持**** ** 模拟运算 *.**支持*** *****分析 *.**支持光学系统条件调变功能 *.**支持******* *****辅助使用功能 *.**支持******* *****模拟运算 *.**同时支持*******和*****系统(支持的操作系统平台) *.**具备连接到设计版图察看编辑工具的能力 *.**具备连接到****(器件及工艺)仿真软件的能力 *.** 具备版图修正能力 *.**具备分布式运算能力 *.**具备精准仿真基本功能（非普通***所采用之紧凑型仿真） *.**可将光学仿真部分和光刻胶仿真部分分开处理 *.**具备基本光刻掩模版版图编辑能力 *.**具备基于量测数据的光刻胶内部参数的校正能力 *.**具备成熟的光刻胶*********** 流程，分布式运算 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
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