详见附件：真空泵组*套，其中每套： 机械泵********,岩田，*台 排气速度：****/*** 最大压力:≤*.*** 重量：**** 外形尺寸：*********** 曲柄轴：*个 轴承：调心球轴承 配备定制的转接法兰，与现场法兰接口可配合使用，十年质保。 ******* *****, *台 **抽速：****/* **抽速：****/* **抽速：****/* 气载量：**: *.***** **/* 压缩比：**：****** 转速：*****转/分钟 转速调节范围：**—***% 冷却方式：风冷 集成真空系统控制器 分子泵可现场维护（更换轴承） 排气速度：不小于****/*** 最大压力:≤*.*** 重量：**** 外形尺寸：*********** 曲柄轴：*个 轴承：调心球轴承 十年质保。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）