[**********]硅基喷头图案化流片成交公告

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*.项目名称：硅基喷头图案化流片

*.成交供应商名称：苏州芯投半导体公司

*.成交供应商地址：中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区新平街***号腾飞科技园**幢***单元

*.成交金额(折合人民币)：******元

*.付款方式：合同签订后**个工作日之内预付合同金额的**%，服务完成且验收合格后**个工作日之内支付合同金额**%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	对硅基喷头进行图案化流片：深硅刻蚀深度：**** 深硅刻蚀深度：**** 深硅刻蚀深度：**** 氧化硅生长厚度：** 氮化硅生长厚度：** 金属生长 +=+**** 氧化硅刻蚀厚度：**** * 光刻 *寸	*年

华中科技大学智能制造装备与技术全国重点实验室

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