4英寸单面光刻机竞价公告
2025-10-29
湖南 招标采购
4英寸单面光刻机竞价公告
湖南-2025-10-29 00:00:00
湖南-2025-10-29 00:00:00
*英寸单面光刻机竞价公告
发布日期：**********
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| 项目名称 | *英寸单面光刻机 | 项目编号 | ********* |
| 项目编号 | ********* | ||
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 公告截止日期 | ****/**/** **:** |
| 公告截止日期 | ****/**/** **:** | ||
| 采购单位 | 湖南大学 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 采购预算 | 未公开 | 币种 | *** |
| 币种 | *** | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后**天内到货 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 两山一湖中四栋 | ||
| 售后服务 | 按行业标准执行 | ||
| 付款条款 | 国产设备：*.供应商在申请验收前，须先把合同总金额的（*）%作为质保金交到采购人指定账户，并开具合同金额***%发票；*.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在**个工作日内支付合同总金额的（***）%；*.在验收合格之日起的（*）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。 | ||
采购清单
*
| 采购内容 | 数量单位 | |||
| *英寸单面光刻机 | *(台) | |||
| 参考品牌及型号 | 鸿源鼎芯/******型 | |||
| 技术参数要求 | 一、配置参数： *．曝光类型：单面曝光； *．曝光面积：***×*****； *．曝光照度不均匀性：≤*%； *．曝光强度：******/***可调； *．紫外光束角：≤*°； *．紫外光中心波长：*****： *．紫外光源寿命：≥*万小时； *．曝光分辨率：*μ*； *．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； **．显微镜扫描范围： *：±****； **．对准范围：*、*±***（移动精度*.***），*细调±*°（移动精度*.***°）粗调±**° **．对准精度：正面*μ*； **．分离量；*～***μ*可调； **．接触－分离漂移：≤*μ*； **．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光； **．找平方式：气悬浮自动找平； **．显微系统：视场***系统，显微镜***～****连续变倍（物镜*.**～*.** 连续变倍），双物镜距离可调范围****～*****，扫描范围*±*****±****，计算机图像处理对位软件，**″液晶监视器； **．掩模版尺寸：*″×*″、*″×*″、*″×*″； **．基片尺寸：φ*″、φ*″、φ*″； **．基片厚度：*.*～***； **．曝光定时：*～***.*秒可调； **．对准方式：千分尺手动***对位平台（精度*.***） **．镜头移动：电动； **. 升降方式：电动（伺服） **. 电源：单相****** **** ，功耗≤***； **．洁净空气压力：≥*.****； **．真空度：**.*****~**.*****； **．尺寸： *****（长）×*****（宽）×******（高）。 二．配置清单：本机由***紫外曝光头、***显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、备附件构成。 *．曝光头： ***紫外曝光头一台。 *．***显微显示系统： *）***数码摄像机二只； *）可变倍显微镜二只； *）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、**″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套）。 *）焦距、物距调节台一套； *）扫描机构一套（电动）； *）***同轴照明光源二台。 *．对准工作台； *）*″×*″、*″×*″、*″×*″版架各一件； *）φ*″、φ*″、φ*″、承片台各一件； *）气悬浮自动找平机构一套； *）高精度千分尺对位平台一套； *）高精度伺服升降装置一套; *．电气控制台： *）***可编程控制器一台； *）电磁阀及控制系统一套； *）气动、真空仪表一套。 *．备附件： *）真空软管（φ***）***； *）电磁阀二只； *）紫外光强计一只； *）无油静音真空泵一台； *）无油静音空压机一台。 *．技术资料： *）使用说明书； | |||
剩余时间：**天**:**:**
该项目其它公告
