******设备　　招标公告

一、项目名称：******设备

二、项目编号：********

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路**号凌云楼****室

邮编：******

联系人：陈老师　　　电话：*************

电子邮箱：******@****.***.**

技术联系人：张老师　电话：***********

电子邮箱：*************@***.***

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

******设备*台

（一）主要技术参数及配置要求

*. 设备技术要求：设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（**）标准。

*.工艺要求

*.*工艺气体主要包括**及**，工艺气体纯度不低于**。

*.*蒸发沉积速率：*μ*/*****μ*/***。

*.配置*套电子枪系统

*.*电子枪形式：三级间热式电子枪双级真空。

*.*每把电子枪额定功率：≥*****。

*.*电子束光斑直径：≥***。

*.*聚焦方式：两级聚焦同时具有聚焦保护。

*.*电子束偏转角度：≥±**°。

*.*扫描图形种类：≥*种。

*.*电子枪扫描系统具备分束扫描功能。

*.*灯丝及阴极寿命：≥***。

*.*电子枪冷态极限真空度：≤*.*×******。

*.**电子枪抽真空时间（工作真空）：**分钟内达到*.*×******（不含分子泵的启动时间）。

*.**电子枪采用双层水冷结构。

*.**电子枪扫描系统具备倾斜角修正、旋转角修正、束斑向心加速等功能。

*.**电子枪接地电阻：≤*Ω。

*.**电子枪重量：≤*****（不含分子泵）。

*.**电子枪尺寸：≤*****×*****×*****（长×宽×高）。

*.电子枪电源

*.*电源：****±**%；****±***；三相交流电。

*.*电压稳定度：≤*%。

*.*打火响应时间：≤*μ*。

*.*加速电压：*~****可调。

*.沉积真空室

*.*用于蒸发靶材沉积涂层的高真空腔室。包括水冷铜坩埚、光栅阀、闪频观察窗、电子枪法兰接口、真空系统、阀口挡板、靶材升降装置等。

*.*沉积真空室采用不锈钢***材质、双层水冷结构。

*.*水冷坩埚数量：*个，坩埚材质：紫铜。

*.*沉积真空室真空获得系统由旋片泵、罗茨泵、扩散泵、真空管道、真空计、阀体等组成。

*.*沉积真空室冷态极限真空度：≤*.*×******。

*.*抽真空时间（工作真空）：**分钟内达到*.*×******（不含扩散泵的升温时间）。

*.*压升率（***）：≤*.****/*。

*.*靶材升降装置通过伺服电机控制升降及旋转。

*.*光栅阀通过伺服电机控制开合。

*.**闪频观察窗由内层石英玻璃、中间层铅玻璃、外层黑玻璃组成。

*.配置*套原位辐射加热室

*.*原位辐射加热元件由石墨加热带产生辐射热量。

*.*原位辐射加热温度范围：*~****℃。

*.*炉温均匀性测试，校温点为****℃、****℃、****℃。

*.*上下两区加热，每个区功率≥****，总功率≥****。

*.*原位辐射加热室真空获得系统由旋片泵、罗茨泵、扩散泵、真空管道、真空计、阀体等组成。

*.*原位辐射加热室采用不锈钢***材质、双层水冷结构。

*.*原位辐射加热室设有传动轴滑动及转动支撑装置。

*.*压升率（***）：≤*.****/*。

*.配置*套装载室

*.*整体采用不锈钢***材质、内置水道水冷结构。

*.*装载室设有传动轴滑动及转动支撑装置。

*.*真空获得系统由旋片泵、罗茨泵、真空管道、真空计、阀体等组成。

*.*设有固定观察窗*个，观察窗由内层石英玻璃、外层铅玻璃组成。

*.*装载室上盖设为法兰密封结构，便于维修及检查传动系统。

*.配置*套传动轴及转架系统

*.*转架为叉子型结构，转架需实现横移+自转+摆动功能。横移速度：****/***；自转速度：*~***/***；摆动角度：±**°

*.*横移+自转+摆动均采用伺服电机配备减速器控制。

*.*转架工位数量：≥**件。

*.*转架配备*型热电偶；热电偶数量：≥*支。

*.*转架材质为高温合金材质，转架使用温度：*~****℃。

*.*传动轴为双层水冷结构。

*.气体质量流量控制系统

*.***质量流量控制器量程：********。

*.***质量流量控制器量程：****/***。

*.*工艺气体管路，采用电子级电抛光管材（*******）材质。采用自动轨道焊接。

**.冷却水系统

**.*冷却水系统由两部分组成，一部分为主体结构冷却，一部分为电子枪冷却。

**.*主体结构冷却采用螺杆式冷水机组，主体结构分水器应充分考虑每一组供水的可靠性，主要管路设置超温和缺水报警，每一分路上加装轮式水流开关，主体结构分水器与真空室连接采用软管连接，软管采用高压防爆管，真空室内部软管采用高压波纹管连接，冷却水主管道安装压力表。

**.*电子枪冷却采用工业级冷水机，独立一组分水器，主要管路设置超温和缺水报警，主管路安装压力表，并且水温水流有数显。

**.压缩空气

**.*压缩空气压力：*.****~*.****。

**.*作为各类气动阀门的来源，主要由阀岛、气动三联件、阀门、管路构成，压力不足时能给出报警信号。

**.工作台架

工作机台组成：其一为真空腔室（沉积室、原位辐射加热室及装载室）机台，方管焊接件；其二为真空机组工作台架；其三为工作平台，高度适合操作为宜。

**.电气控制系统

**.*供电：****±**%；****±***；三相交流电。设备端配备电气柜、总动力柜为设备整体提供供电需求及控制。

**.*采用知名品牌的***及配套的电器元件。

**.*配置**寸彩色显示器，*个键盘和鼠标、*个打印机、*个悬臂支撑架、*台***电源等组成。工控机***核心数量：≥*，内存容量：≥***，固态硬盘容量：≥***。工控机和***上相关软件均为长期永久授权，不得加密。

**.*配置不低于*********操作系统，以及国产工艺控制软件，可实现对设备各个部件、流量、开关、阀及传感器数字信号的采集与编辑，设备运行状态的监控、调节，以及安全逻辑互锁。

**.*采用模块化设计，操作界面简洁实用，能够精准显示各个阀门、传感器等组件的运行状态，以及逻辑互锁的条件，并具备各类信息的自诊断及报警功能。

**.辅助配套装置

**.*卧式热处理炉

型式：单室、卧式、水平前装料、冷却气内循环方式；最高温度：****℃；温度均匀性：±*℃；控温精度：≤±*℃；抽真空时间（工作真空）：**分钟内达到*.*×******（不含扩散泵的升温时间）；冷态极限真空度：≤*.*×******。

**.*电镀**台

外形尺寸：******×******×******（长×宽×高）；**槽容积*****×*****×*****（长×宽×高）。

**.*超声波清洗机

电压：******±**%，****；功率：*****%数控调节。

**.*干吹砂机

外形尺寸：******×******×******（长×宽×高）；工作舱尺寸： *****×*****×***** （长×宽×高）；电源： ****、****；机器照明灯： ****，*******灯；压缩空气源：压力*****/***；流量*.***.***/***干燥压缩空气；除尘方式：配置滤芯除尘箱；除尘风机：*****/****；机器承载量：***㎏。

**.*湿吹砂机

整机外形尺寸：*****×******×******（长×宽×高）；砂箱尺寸：*****×*****×*****（长×宽×高）；电源：****/****；压缩空气源；压力*~***/***流量*~***/***；砂泵功率：*****；砂管规格：****×****（直径×长）；喷嘴规格：*.***（直径）；转盘规格：*****（直径）；机器承重：*****；排雾风扇：****；照明灯：********；机舱材质：不锈钢***；雨刷器：气动。

**.*烘箱

工作温度范围：**℃~***℃，内部尺寸******×*****×******（长×宽×高）。

**.*纯水机

制水量*.*吨/*；电导率不高于*.*μ*/**。

**.*线切割设备

用于产品检测金相切割，最大加工范围*****×*****（长×宽）。

**.*空气压缩机站

外形尺寸******×******×******（长×宽×高）；容积容量****/***，排气压力*.****；电机功率****，重量******，储气罐*立方米。

**.**污水处理系统

碱性废液箱***，**材质，******×******（长×宽）；水幕废水箱***，白色；综合清洗废水箱****，白色；设备主体处理量*.***/*。

**.**液氩气站

液氩储罐容积*****，工作压力*.****，内外容器材料******；氩气设计压力*.****，气化量****·**/*。

**.**循环氧化炉

炉膛：高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛；恒温区尺寸：****×*****（直径×高）；加热元件：硅碳棒加热；炉管材质：陶瓷刚玉管；控温方式：温度控制系统采用人工智能调节技术，具有***调节、自整定功能，**段升降温程序；恒温精度：±*℃；升温速度：*~**℃/***；额定功率：****；工作电源：**/**** ****/****；升降系统控制：滚珠丝杆升降机*套。

**.**恒温氧化炉

炉膛尺寸*****×*****×*****（长×宽×高）；最高温度****℃，使用温度*~****℃；控温精度：±* ℃；发热元件采用高温硅碳棒加热；测温元件*型热电偶。

**.**工件防护台

尺寸：******×*****（长×宽）。

**.**工件转运车

尺寸：*****×*****×*****（长×宽×高）。

（二）质保期：自验收合格之日起*年。

（三）交货期：合同生效后，**个月内交货。

（四）报价要求：本次招标采用一次性报价。报价包含设备、配套辅机、配套软件、易损件、配套环保设备、设备地基施工、运输、安装、调试、培训、税费、保险等与本项目相关的全部费用，确保设备安装后可以满足安全、环保及生产运行要求。

（五）履约保证金：中标单位须在签订合同**天内缴纳合同金额的*%作为履约保证金，验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，无息退还。

（六）安装调试要求

现场安装：现场完成设备就位、水电气管路连接、外围系统集成等。

系统调试：进行全面的硬件、软件、真空系统、气路系统、温控系统、安全联锁等的功能测试和参数校准。

（七）付款方式

*.合同签订后，支付合同总额**%的预付款；

*.设备制造完成在供方厂区内验收合格后，支付合同总额**%的预验收款，供方发货至需方指定地点；

*.设备在需方指定地点安装调试并通过验收后，支付合同总额**%的终验收款；

*.验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，支付合同总额**%的尾款。

*.每次付款前，中标单位均须提供对应的等额增值税专用发票。

（八）验收要求：按照招标公告要求、投标文件、采购合同约定的技术条款等指标进行验收。

（九）售后服务要求

现场服务：产生故障，需在*小时内响应，**小时内派遣工程师到达现场进行维修或更换故障部件。

备件供应：质保期内应免费更换因质量问题损坏的零部件。

五、投标单位资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体投标，不得转包或分包。

六、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为***分，具体内容如下：

（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔****〕**号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔****〕**号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔****〕***号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔****〕**号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予**%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。

小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。

注：

①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔****〕***号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。

②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，将按政府采购法相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔****〕** 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔****〕*** 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。

（二）价格分（**分）

*．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分**分；

*．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×**分。

（三）技术参数、配置及整体综合性能分（**分）

*．技术参数及配置（**分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，其他情况由评标委员会根据实际情况进行评判。

（*）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效响应文件。

（*）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣*分。

*．综合性能情况（**分）

（*）所提供产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评标委员会认为超出指标有意义的）（*分）。其中优于项，每处加*分。

（*）所提供产品的市场反馈情况（*分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

（四）综合商务（**分）

*．综合实力（*分）

根据投标人提供的能体现其综合实力的证明材料进行评定。

*．类似项目业绩（**分）。投标人提供****年以来同类型设备销售业绩，每提供*项销售业绩得*分，满分**分。

注：提供合同页及盖章页。（其中合同复印件应至少体现出项目名称、甲乙双方公司名称及盖章、合同签订或生效时间等，未按上述要求提供的业绩证明均不予以认可）。

*．售后服务与培训情况等（**分）

（*）质保期（*分）。符合招标文件要求的，得*分，每增加一年质保期加*分。

（*）服务、技术支持与培训承诺情况（*分）。

根据投标文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

*．其它优惠措施等（*分）

根据供应商提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

七、投标文件的组成

投标文件一般由下列材料组成（部分格式详见附件*、*，所有材料须加盖投标单位公章并按序装订成册）：

（一）投标文件一

*.投标函。

*.投标报价表。

*.详细配置及分项报价清单。

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

*.目录（投标资料与页码对照表，原件）。

*.投标基本情况一览表。

*.详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品技术支持资料。

*.综合性能情况。

*.综合实力。

*.类似项目业绩。

*.质保期。

*.技术方案、服务承诺、培训承诺。

*.其他优惠措施。

**.投标单位认为应该提供的相关材料。

**.资格证明文件

（*）营业执照（复印件）。

（*）法定代表人授权书（原件）。

（*）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）。

（*）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）及投标单位为其缴纳的社保证明（复印件）。

（*）具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（复印件）或承诺函（原件）。

（*）依法缴纳税收和社会保障资金的相关资料（复印件）。

（*）最近一年度审计报告或财务报表(复印件）。

（*）近三年内在经营活动中无重大违法记录承诺函（原件）。

（*）《中小企业声明函》或《残疾人福利性单位声明函》或由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件（如有）。

特别说明：

*.“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

*.“投标文件一”，正本一份，副本一份；“投标文件二”，正本一份，副本五份。如副本与正本有出入，以正本为准。

*.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第**条中的要求执行。

九、各投标单位在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在****年**月**日**：**前将报名函（格式见附件*）发送邮件至采购人处（******@****.***.**）。

十、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

*. 寄达时间：****年**月**日**：**前；

*. 收件人信息：

收件人：陈老师

联系方式：***********

收件地址：江苏省苏州市东环路**号苏大东校区凌云楼****室（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

*. 递交时间：****年**月**日**:**～**：**

*. 递交地点：江苏省苏州市东环路**号苏州大学东校区东门

十一、投标截止时间：****年**月**日**：**。

十二、开标时间：****年**月**日**：**。

******设备 附件.***