***设备　　招标公告

一、项目名称：***设备

二、项目编号：********

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路**号凌云楼****室

邮编：******

联系人：陈老师　　　电话：*************

电子邮箱：******@****.***.**

技术联系人：张老师　电话：***********

电子邮箱：*************@***.***

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

***设备*台

（一）主要技术参数及配置要求

*.设备技术要求：设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（**）标准。

*.工艺要求：工艺气体主要包括***、**及**等，应具备防腐蚀及防爆功能。

*.内置高温反应器

*.*有效工作区尺寸：≥*****×******（直径×高）。

*.*工作温度范围：***℃～****℃。

*.*在****℃工作温度范围能连续工作。

*.*最高温度：****℃。

*.*温度均匀性：±*℃。

*.*炉温均匀性测试，校温点为***℃、****℃、****℃。

*.*泄漏率：≤*.*****/*。

*.*泄漏率检测包括高温反应器、三氯化铝发生器、混合室及汇流排。

*.*极限真空度：≤*****（*.***内）。

*.**最大装载量：≥*****。

*.**沉积速率：沉积速率：≥**μ*/*，内流道涂层厚度偏差≤**μ*、外表面涂层厚度偏差≤**μ*。

*.高温反应器

*.*用于生成高温高活性次氯化铝反应物质的密闭容器，在工件表面生成沉积涂层。包括抗高温变形的罐体、带冷却水套的下法兰、热电偶、***及***接口、真空系统、密封槽、安全锁紧装置等。

*.* 配置*套，采用**********材质、厚度不小于***钢板卷制焊接罐体。

*.*基于***及温控模块可实现高温反应器内部*区控温，每个独立控温区应有控温和超温报警热电偶，并设有***和***热电偶接口。整个热处理控制系统应高度集成。

*.* 设备可增加单独真空泵用于工件内流道涂层沉积。

*.*内置高温反应器在工艺温度时压力在******～*******范围内可调，可高效率低成本同时在内外流道沉积涂层。

*.外置低温反应器：用于制备低活性三氯化铝气体和其他不少于*种活性元素。由工艺气体管线（包括***、**和**气体）、分区控温的加热模块、气体发生器等组成。

*.石墨坩埚及组合件：石墨坩埚、隔圈及支撑件等承力部件采用高密度石墨制成；其余石墨组件（隔热）采用轻质、低密度石墨制成。

*.钟罩式加热炉

*.*用于对高温反应器的加热。

*.*加热速率：从室温到****℃≤**。

*.*控温系统：采用知名品牌工艺控制软件相配套的控温系统，*区独立控温，每区设置独立控温模块、测温及报警热电偶的快速连接装置。

*.*电阻丝：模块化的知名品牌电阻丝。耐火材料：模块化氧化铝砖，密度≤*****/**。总重量：≤*.*吨。炉体表面温度：工作状态下，炉体外表面温度≤**℃。

*.*变压器：输出电压****±**。

*.*具有防变形，抗热疲劳和热老化性能，结构便于更换。

*.冷却塔：由移动式冷却罩、风冷系统构成，具备抗高温变形和防烫伤功能的双层壁设计，可实现高温反应器外壁的强制风冷。

*.抽真空系统：包括真空泵及管道系统，对低温反应器、高温反应器、冷阱、各类气体汇流排、混合室及相关管线抽真空。与工艺控制软件相匹配，实现逻辑互锁。

**.气体流量控制和在线校验系统

**.*基于模拟量的***，能精确控制**、***及**等气体流量，气体流量、大小可数显，精确可控。

**.*设置手动阀及开关，实现紧急状况下的手动操作。

**.冷却循环水系统：由冷水机、汇流排、传感器及管道组成。可监测循环水水温并报警。

**.尾气处理系统：具备对易燃易爆、有毒及强腐蚀性尾气的无害化处理装置及功能，符合国家环保排放要求，产生的废水收集后集中处理。

**.地面行吊系统

**.*用于***设备工艺过程中主要可移动部件的定点吊装及移动，具备自动循迹及定位功能。

**.*整体承力框架：采用高强度合金热轧或锻造，具备抗弯曲、防变形功能。起升重量：≥**。起升高度：≥*.**（与设备吊装高度相匹配）。起升速度：≥*.**/***。吊装和移动：水平运行距离≥*.**（具体以***设备的实际尺寸为依据）。数量：*套，与设备结构相匹配，具备多工位拓展条件，并满足采购人使用需求。

**.*定位循迹：采用***及伺服电机，高精度齿轮齿条或丝杠传动系统，具备自动定位（四工位）及循迹功能，完成对***设备部件的自动定位、吊装和移动。重复定位精度：±*.***。

**.*地面行吊控制系统：预埋各类限位开关、传感器，具备变速升降、移动、紧急停止及物理限位功能。

**.气体供给及安全监控系统

**.*由气体管线、各类阀、防泄漏探头及气瓶柜等组成，对各类气体的压力、流量及泄漏具有全自动监控、显示、超压保护及安全逻辑互锁功能。具备安全互锁功能，并与工艺管理系统逻辑互锁。

**.*配置氯化氢（***）气瓶柜，可实现一键式保压、吹扫。

**.*配置氢气防爆间，按照《氢气使用安全技术规程》进行执行（***********）。

**.*气体管线设计制造具备***认证。

**.*设置手动阀及开关，实现紧急状况下的手动操作。

**.工艺管理系统

**.*具备工艺参数编辑、存储及打印等功能。提供气相沉积渗铝工艺模块，并具备其余工艺模块的拓展功能，同时提供与渗铝技术相关的成套配置，并协助采购人实现工程化应用。

**.*实现对工艺程序的编辑、参数设置及显示、运行状态动态显示及操作、故障报警显示及记录、数据记录及历史曲线、维护及说明页面等。

**.*对主要设备故障具有自诊断和报警功能，与各个系统互联互通，信息共享，实现工艺和安全的逻辑互锁。如：与气体供给及安全监控系统、压力平衡系统及地面航吊系统之间逻辑互锁，实现安全操作。

**.*工艺管理系统及设备应具备高可靠性和连续工作的能力，自动化程度较高，操作界面简洁，可实现异常信息的自动报警与逻辑互锁。

**.电气控制系统

**.*采用***及配套的电器元件，可实现对钟罩式加热炉不同区域的电流进行调节控制。

**.*配置*台**.*寸触摸屏，配置**寸彩色显示器，以及*个独立的工控机系统，*套键盘和鼠标、*个打印机、*个电脑桌、*台***电源等组成。工控机***核心数量：≥*，内存容量：≥***，固态硬盘容量：≥***。工控机相关软件均为长期永久授权，不得加密。

**.*配置不低于*********操作系统，以及国产工艺控制软件，可实现对设备各个部件、流量、开关、阀及传感器数字信号的采集与编辑，设备运行状态的监控、调节，以及安全逻辑互锁。

**.*采用模块化设计，操作界面简洁实用，能够精准显示各个阀门、探头及传感器的运行状态，以及逻辑互锁的条件，并具备各类信息的自诊断及报警功能。

**.其他要求

**.*设备涉及易燃易爆及高腐蚀性气体的阀、仪器仪表、各类传感器及流量计等元器件应选用知名品牌产品。

**.*工件支撑座采用高温合金或更高耐热材质。

**.*所有接触工艺气体及尾气的元器件材料必须防腐蚀，采用电子级电抛光管材（*******）材质。采用自动焊接机器人焊接。

**.*设备主体占地尺寸：≥**×*.**（长度×宽度）。

**.*针对安全隐患部位，设置安全防护措施。

（二）质保期：自验收合格之日起*年。

（三）交货期：合同生效后，**个月内交货。

（四）报价要求：本次招标采用一次性报价。报价包含设备、配套辅机、配套软件、易损件、配套环保设备以及设备地基施工、运输、安装、调试、培训、税费、保险等与本项目相关的全部费用，确保设备安装后可以满足安全、环保及生产运行要求。

（五）履约保证金：中标单位须在签订合同**天内缴纳合同金额的*%作为履约保证金，验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，无息退还。

（六）安装调试要求

现场安装：现场完成设备就位、水电气管路连接、外围系统集成等。

系统调试：进行全面的硬件、软件、真空系统、气路系统、温控系统、安全联锁等的功能测试和参数校准。

（七）付款方式

*.合同签订后，支付合同总额**%的预付款；

*.设备制造完成在供方厂区内验收合格后，支付合同总额**%的预验收款，供方发货至需方指定地点；

*.设备在需方指定地点安装调试并通过验收后，支付合同总额**%的终验收款；

*.验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，支付合同总额**%的尾款。

*.每次付款前，中标单位均须提供对应的等额增值税专用发票。

（八）验收要求：按照招标公告要求、投标文件、采购合同约定的技术条款等指标进行验收。

（九）售后服务要求

现场服务：产生故障，需在*小时内响应，**小时内派遣工程师到达现场进行维修或更换故障部件。

备件供应：质保期内应免费更换因质量问题损坏的零部件。

五、投标单位资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体投标，不得转包或分包。

六、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为***分，具体内容如下：

（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔****〕**号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔****〕**号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔****〕***号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔****〕**号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予**%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。

小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。

注：

①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔****〕***号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。

②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，将按政府采购法相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔****〕** 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔****〕*** 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。

（二）价格分（**分）

*．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分**分；

*．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×**分。

（三）技术参数、配置及整体综合性能分（**分）

*．技术参数及配置（**分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，其他情况由评标委员会根据实际情况进行评判。

（*）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效响应文件。

（*）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣*分。

*．综合性能情况（**分）

（*）所提供产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评标委员会认为超出指标有意义的）（*分）。其中优于项，每处加*分。

（*）所提供产品的市场反馈情况（*分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

（四）综合商务（**分）

*．综合实力（*分）

根据投标人提供的能体现其综合实力的证明材料进行评定。

*．类似项目业绩（**分）。投标人提供****年以来同类型设备销售业绩，每提供*项销售业绩得*分，满分**分。

注：提供合同页及盖章页。（其中合同复印件应至少体现出项目名称、甲乙双方公司名称及盖章、合同签订或生效时间等，未按上述要求提供的业绩证明均不予以认可）。

*．售后服务与培训情况等（**分）

（*）质保期（*分）。符合招标文件要求的，得*分，每增加一年质保期加*分。

（*）服务、技术支持与培训承诺情况（*分）。

根据投标文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

*．其它优惠措施等（*分）

根据供应商提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

七、投标文件的组成

投标文件一般由下列材料组成（部分格式详见附件*、*，所有材料须加盖投标单位公章并按序装订成册）：

（一）投标文件一

*.投标函。

*.投标报价表。

*.详细配置及分项报价清单。

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

*.目录（投标资料与页码对照表，原件）。

*.投标基本情况一览表。

*.详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品技术支持资料。

*.综合性能情况。

*.综合实力。

*.类似项目业绩。

*.质保期。

*.技术方案、服务承诺、培训承诺。

*.其他优惠措施。

**.投标单位认为应该提供的相关材料。

**.资格证明文件

（*）营业执照（复印件）。

（*）法定代表人授权书（原件）。

（*）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）。

（*）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）及投标单位为其缴纳的社保证明（复印件）。

（*）具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（复印件）或承诺函（原件）。

（*）依法缴纳税收和社会保障资金的相关资料（复印件）。

（*）最近一年度审计报告或财务报表（复印件）。

（*）近三年内在经营活动中无重大违法记录承诺函（原件）。

（*）《中小企业声明函》或《残疾人福利性单位声明函》或由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件（如有）。

特别说明：

*.“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

*.“投标文件一”，正本一份，副本一份；“投标文件二”，正本一份，副本五份。如副本与正本有出入，以正本为准。

*.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第**条中的要求执行。

九、各投标单位在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在****年**月**日**：**前将报名函（格式见附件*）发送邮件至采购人处（******@****.***.**）。

十、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

*. 寄达时间：****年**月**日**：**前；

*. 收件人信息：

收件人：陈老师

联系方式：***********

收件地址：江苏省苏州市东环路**号苏大东校区凌云楼****室（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

*. 递交时间：****年**月**日**:**～**：**

*. 递交地点：江苏省苏州市东环路**号苏州大学东校区东门

十一、投标截止时间：****年**月**日**：**。

十二、开标时间：****年**月**日**：**。

***设备 附件.***