系统组成：*套辉光电极、配套真空馈通、抽气泵组、电缆、阀门配件等。 参数要求： *.辉光清洗系统包括：辉光电极、配套真空馈通、真空室内电缆等，共*套； *.绝缘性能：辉光电极经过真空室内电缆与真空馈通电极连接后，整体与装置壁之间的绝缘电阻***; *** *欧姆（大气压**** *电压下测量）； *.可在*.* – * **范围内获得稳定的辉光放电，稳定气压下辉光电流波动范围***; *%; *.单个电极稳态运行电流***;* *，击穿电压**** *； *.*套辉光电极可同时运行，总电流***; ** *； *.配套抽气泵组，为加料系统提供优于**** **的真空度。

(*) 质保期限为*年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：免费安装及操作培训，提供硬件一年免费质保，终身成本价维修。