*.**×*.**×*.**，底部结构采用阻尼橡胶隔振模块，台面采用光学隔振平台，螺纹孔**，间距**×****，配有隔层板，负载*****，带电源脚轮，配置*组*** 插排，提供键盘支架及显示器辅助支架

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该系统搭载高清相机支持录像、拍照、图像对比、测量、画线等多元功能；配备连续变倍高清镜头，变倍范围 *.***.**，变倍可实现实时变焦，镜头采用标准 * 接口，重复精度达 ***，同时搭配燕尾槽滑台三自由度调整结构实现六轴调整机构，行程 ±****；照明方面采用长寿命 *** 光源，色温范围 **********，照度 *****~********，支持旋钮式亮度调节；输出接口为 ****，可实现********* 分辨率、***** 的彩色输出，还配套 ** 寸高清 **** 显示器及专用支架。

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*台六轴高精度微调架，支持 *** 粗调 ±*.***、微调 ±*.***，角位粗调 **** / 刻度、微调 *.*** / 刻度，θ*θ* 移动量 ±*.*°（θ* 解析度 **.*°/ 刻度、θ* 解析度 **.*°/ 刻度），θ* 移动量 ±*°（解析度 **°/ 刻度）；*只光纤水平夹具，可支持 ***μ* 光纤紧固，配有 * 个固定块、磁性吸附及保护垫；*只旋转光纤垂直夹具，用于固定 ***μ* 垂直夹持光纤，粗调 ** * ***°、细调 ±*°，最小读数 *.**°；芯片四轴调整组件，支持真空吸附微型器件，** 行程 ****（调整分辨率 **μ* / 刻度）、* 轴行程 ****（调整分辨率 **μ* / 刻度）、* 轴 ***°（分辨率 *.**°，连续可调）；真空吸附夹具提供三种不同尺寸芯片固定台；无油真空泵真空度≥*.*****、流量≥ * ***/***、噪音分贝 ** * ****；根据现场情况提供适配的气管及安装配件。

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包含*套探针调整架、*套射频探针夹具、*盒直流探针、*套三轴直流针夹具。探针座借助磁力吸附，*、*、* 线性移动行程达 ****，精度为 *.****；射频探针夹具支持多点探头水平调节，调节范围 ±**°，精度 *.*°；直流探针 * 盒共 * 只，表面镀镍金，探针针尖直径 **** ；三轴直流针夹具配合屏蔽箱使用，漏电精度可达 *****，线长 **。

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