KrF步进光刻机激光器监控模块(第二次)(ZJLAB-FS-DY2025068)单一来源公示
2025-10-24
浙江/杭州 招标采购
KrF步进光刻机激光器监控模块(第二次)(ZJLAB-FS-DY2025068)单一来源公示
浙江/杭州-2025-10-24 00:00:00
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***步进光刻机激光器监控模块(第二次)(******************)单一来源公示
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***步进光刻机激光器监控模块(第二次)(******************)单一来源公示公示简要说明:之江实验室拟针对***步进光刻机激光器监控模块(第二次)进行单一来源采购,具体如下。一、采购人名称:之江实验室二、采购项目编号:******************三、采购项目名称:***步进光刻机激光器监控模块(第二次)四、采购项目概况:序号名称单位数量预算单价(元)简要规格描述备注****步进光刻机激光器监控模块项*******.***/***** *****,***** **;***** ***** ***,*** ±*%;** ***** ****** ********* ***,*********(***:********);** ****?****** ********* ***,*********(***:********);安装服务,需要提供该部件的安装调试服务;*** *****,***** **五、拟采用的采购方式:单一来源六、申请理由:***步进光刻机是微纳加工平台的核心设备。该设备的激光器监控模块损坏导致设备停机,已严重影响平台正常的运营、对实验室内外科研项目的服务与支撑,故必须进行维修。激光器监控模块为该设备的消耗品,需要进行换新。激光器的生产厂家为*********** ***.,只有同品牌的原厂配件能够满足需求。亘福(上海)半导体设备有限公司,其英文名为*********** (*****) ***.,是原厂在国内的子公司。因此,拟对该项目采用单一来源的方式进行采购,拟定供应商为亘福(上海)半导体设备有限公司。七、拟定供应商:
拟定唯一供应商名称:亘福(上海)半导体设备有限公司八、其它事项:本项目公告期限为*个工作日,供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的,可以在公示期限内,以书面形式向采购人提出异议。九、联系方式采购人名称:之江实验室联系人:王老师联系电话:*************地址:杭州市文一西路****号之江实验室之江实验室**********
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