原子层沉积设备　　竞争性磋商公告

一、项目名称：原子层沉积设备

二、项目编号：********

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路**号凌云楼***室

邮编：******　　　　　　　传真：*************

联系人：罗老师　　　　　　电话：*************

电子邮箱：******@****.***.**

技术联系人：朱老师　　　 电话：***********

电子邮箱：*****@****.***.**

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

原子层沉积设备　　*套

（一）技术要求

*.腔体：加热采用外置加热结构，加热部件在反应腔体外侧，反应腔内侧无加热机构，反应源不会以包括微观扩散在内的任何方式接触加热器。

*.样品台和载板：适用于*片最大不超过直径*英寸玻璃或硅片样品镀膜。

*.温度：基片温度上限不得超过***℃，****反应温度不超过***℃，控制精度±*℃，可以在≤**℃的低温下完成带有机材料的超薄侧壁生长工艺。

*.金属源：*路可加热直通源，配置高温快速***阀（响应时间＜****）、手动阀、≥****不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度******℃，控制精度±*℃。

*.氧源：*路常温直通源，配置快速***阀（响应时间＜****）、手动阀、≥****不锈钢源瓶。

*.预留*个金属源接口、*个臭氧接口。

*.载气系统：*路**，高精度质量流量计控制，所有前驱体源管路采用**** **管路+***密封，并具有在线清洗功能。

*.整机本底真空＜*.******，真空漏率＜********·*/*。

*.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度**⁓***℃。

**.真空泵：机械泵一套，抽速≥***³/*，真空泵前级配置热阱，可以加热至***℃，防止前驱体源在管路内冷凝。

**.真空计：全量程皮拉尼真空计*个+工艺薄膜真空计*个，测量范围***********大气压，精度满量程的±*%；真空计前设有保护真空计的过滤网以及气动隔膜阀。

**.高精度***+工控机+沉积自动控制软件组成的控制系统；图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式：连续模式、停流模式；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置。

**.设备高度≤*****，腔室周边预留有和手套箱对接的法兰和*圈接口，以便与手套箱（箱体到地面高度＞*****）对接。对接方式：将***设备推入双工位标准手套箱底部后，通过升降脚架将设备整体升高，至设备法兰和和*圈与手套箱箱体底部法兰开口对准后，锁定升降脚架，是得***设备和手套箱大腔能够完成密封，***设备的反应腔室盖字能够以上开盖的形式开在手套箱内部。

（二）测试要求

在不大于直径*英寸尺寸的载板或样品台内放置碎硅片作为测试片，供应商提供工艺配方，沉积 *** 循环氧化锡，膜厚非均匀性**≤±*%为合格；非均匀性测试方法：样品台边缘****以外放置至少**个测试片，在镀膜后样品表面中心位置进行膜厚测试。椭偏仪测试片内膜厚最大值、最小值分别记为****、****；非均匀性**=(*********)/(****+****)。

（三）配置

设备至少需要包含以下配置：反应腔体结构*套、前驱体源系统*套、真空系统*套、控制系统*套。

（四）质保期不少于*年。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为***分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（**分）

*．技术参数及配置（**分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（*）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（*）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣*分。

*．综合性能情况（**分）

（*）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（*分）。其中优于项，每处加*分。

（*）所提供产品的市场反馈情况（*分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（**分）

*．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分**分。

*．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×**分。

（三）综合商务（**分）

*．综合实力（*分）

根据供应商综合实力评定。

*．售后服务与培训情况等（**分）

（*）质保期（*分）。符合磋商文件要求的，得*分，每增加一年质保期加*分。

（*）服务、技术支持与培训承诺情况（*分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

*．其它优惠措施等（*分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件*），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

*. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

*. 磋商响应函（原件）。

*. 响应基本情况一览表（原件）。

*. 详细配置清单（原件）。

*. 技术规格偏离表（原件）。

*. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

*. 资格证明材料

（*）营业执照（复印件）。

（*）法定代表人授权书（原件）。

（*）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（*）法人授权代表身份证明材料（授权代表投标需提供，如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（*）近三年内在经营活动中没有重大违法记录承诺函（原件）。

（*）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料（复印件）。

（*）最近一年度审计报告或财务报表（复印件）。

（*）仪器设备生产或经营企业许可证（如有，复印件，特殊行业必须提供）。

（*）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第*.*条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（**）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（如有，例如：***、***、**、**等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（**）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

*. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

*. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

*. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

*. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

*. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第**条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币***元（相关缴纳事宜详见附件*），售后不退。

十一、报名：供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在****年**月**日**:**前将报名函（格式见附件*）发送邮件至采购人处（******@****.***.**）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

*. 寄达时间：****年**月*日*:**前。

*. 收件人信息：

　收件人：罗老师

　联系方式：***********

　收件地址：江苏省苏州市东环路**号苏大东校区凌云楼***室（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

*. 递交时间：****年**月*日*：**～*：**

*. 递交地点：江苏省苏州市东环路**号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：****年**月*日*:**。

十四、磋商时间：****年**月*日*:**。

　　　　磋商性公告附件.***