外形尺寸 ***(*) ×***(*) ×***(*)** 供电电源 ******/**** 溅射靶材 金、铂、金钯合金等 靶材尺寸 φ**×*.**** 真空室 高硅硼玻璃φ***×***** 工作介质 空气或氩气 真空泵 旋片泵（选配干泵） 抽速 *.**/* 极限真空 ***; *** 工作电流 ****** 连续可调 显示屏 *英寸 ***×*** 彩色触摸屏 工作时间 ****** 连续可调 真空调节 自动 放气 自动

按行业标准提供服务(质保期*年，含安装、调试、参与验收、培训实验人员、故障及时维修）