*、测量参数：***/*****、*/*/*、折射率、厚度、介电常数等； ★*、光谱范围：≥********* ； *、样品对准： ***相机可视化辅助对准并调平样件； *、光斑尺寸：≤***； ★*、膜厚重复性精度：≦*.***** （***** **** 硅片，** 次重复测量）； *、折射率重复性精度：≦*.**** @***.***，***** **** 硅片，** 次重复测量； *、退偏修正：软件具有厚度不均匀**************，带宽*********及数值孔径*******等退偏修正模型（提供权威机构出具的相关证书） *、数据测试与分析：至少具备*种不同的测量模式（标准/反射/透射/多角度/直通/相位延迟），包含*种数据拟合度评价指标***/*** ；（提供软件截图予以佐证） *、偏振差值：自动计算********和********** 差值数据（提供软件截图予以佐证） **、分析软件：内置***多种光学材料**数据库，支持用户新增和编辑材料库；具有单层、多层、超薄膜的建模分析能力，包含******、*********、************、*******、**********等模型，支持离线软件授权使用，实时采集光强信号，一键导出测试报告； **、测试电脑： ******* **操作系统，***: **及以上（主频*.****以上）；内存：≥*** ；硬盘：≥**；液晶显示器：≥**寸； ★**、温控台模块：支持联用椭偏仪样品台，温控范围**℃****℃，样品区域*********。

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