*、光刻主波长为*****,*****,*****； *、最大光刻范围φ*英寸； *、 初期保证照度 ****/***以上（*******，********）； *、 照射距离：***.***； *、 照度均一度 ：±*%以下； *、视角：±*.*°（半角）； *、 露光量控制 积算光量 *******； *、 ******* 开闭时间 *秒； *、 设定范围 ：*～******/**² ；**、 灯管：**********； **、灯管保证寿命 *****； **、电压 ：********** 功率 ：****,电流 *.** 以下

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