*、主要应用于样品表面清洁、活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、表面有机物去除、疏水实验、镀膜前处理等，免维护，无需任何耗材。 **、***工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。 *、****高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。。 *、*寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，**个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。 *、双路气体控制，控制范围：**********。 *、真空压力传感器采用美国霍尼韦尔（*********）。 *、气体浮子流量计采用美国德威尔（*****），流量控制准确。 *、***不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用***不锈钢材质，耐腐蚀无污染。 *、电容式等离子激发方式。 ***、自动匹配器。 ***、采用**度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。 **、舱体尺寸Ø*********。 ***、舱体容积**。 **、射频频率*****，射频功率******无极可调，工作功率*******。 **、时间设定******秒。 **、气体稳定时间 *分钟。 **、可设定真空压力最小***，工作真空压力要求*****以内。 **、电源**** **/****，电流*.**。 **、外形尺寸****************(*****)，整机重量****。 **、真空泵抽气速率**³/小时(*.*升/秒），极限真空*.****，进排气连接口****/**。

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