Sino-Plasma200TSVALE设备升级套件

2025-10-21

江苏/无锡中标结果

Sino-Plasma200TSVALE设备升级套件
江苏/无锡-2025-10-21 00:00:00

东南大学 * 结果公告 (*****************)

发布单位：东南大学发布时间：**********

基本信息:

采购结果:

*********** *** *** ***设备升级套件

品牌：邑文

型号：*********** ***

厂家：邑文科技

产地：中国

*.原有*********** *** *** ***设备从*寸改造为*寸，实现*寸晶圆作业； *.改造后刻蚀速率****Å~****/***，刻蚀速率一致性**** ***;*%； *.包含：*英寸陶瓷****套；边缘环*套；***** *型圈共*件；*英寸陶瓷隔板*件；*英寸陶瓷水盘*件等。 *.质保期不少于*年

按行业标准提供服务

数量：* (套)

单价：******.**(人民币)

******.**(人民币)

无锡邑文微电子科技股份有限公司