高性能石墨烯晶体管的测试加工服务采购意向公示new
2025-10-21
上海 招标采购
高性能石墨烯晶体管的测试加工服务采购意向公示new
上海-2025-10-21 00:00:00
上海-2025-10-21 00:00:00
上海大学
高性能石墨烯晶体管的测试加工服务 采购意向公示
为便于供应商及时了解采购信息,现将我校快速采购意向公开如下:
*、项目概况:
(*)拟采购方式:上大迅采
(*)采购项目名称:高性能石墨烯晶体管的测试加工服务
(*)预算金额:**.**万元
(*)采购需求概况:
因科研需求需供应商提供测试加工服务:*、完成*英寸石墨烯****器件单步工艺验证、掩膜版加工制备;*. 完成*英寸晶圆级石墨烯传感器件****流片验证;*. 完成****流片加工制备,基片材质:硅片(带***μ* ****)基片*英寸。工艺:光刻×*、沉积**/** (**/*****) ×*、*******×*、*****沉积**** ***μ*、***腐蚀**** *** μ*、石墨烯转移(单层,~***Ω/)、石墨烯刻蚀、激光划片、芯片分拣取片。流片要求:线宽误差 ≤ ±*μ*、薄膜厚度误差 ≤ ±**%、*** ≤ * *Ω。以电子文本格式提交报告。合同签署并生效之日起*个月内服务。
(*)预计采购时间:****年**月
(*)采购意向公示时间:********** ~ **********
*、联系方式:
采购人名称:上海大学
联系地址:上海市上大路**号
用户单位联系人:崔颖
联系电话:***********
采购代理机构:上海机电设备招标有限公司
联系人:王欣怡、陈瑞麟、邓澍
联系电话:********、********、******** ****@*****.***
联系地址:上海市长寿路***号**楼
采招办监督员:谢金印
监督电话:******** ****
本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
上海大学
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