维护服务包括： *. 芯片真空舱拆卸与更新维护。 *. 更新使用 **** **/*.***.* 高真空集气材料 *. 更换芯片端* 级 *** 制冷片（型号 ***********） *. 人工操作费用

交付后质保*年。每年提供不少于*次提供上门巡检与用户培训。