三工艺腔磁控溅射设备采购意向公开
2025-09-30
广东/深圳 招标采购
三工艺腔磁控溅射设备采购意向公开
广东/深圳-2025-09-30 00:00:00
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三工艺腔磁控溅射设备采购意向公开
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业()公哈尔滨工 大学 深圳 三工艺腔磁控溅射设备意向 开采购单位:业()哈尔滨工 大学 深圳项目名称:三工艺腔磁控溅射设备()预算金额 元 :*******采购品目:*********应用核技术 设备采购需求情况:设备需配置*套工艺腔室、*套自动传输转接腔、*套**** ****,以腔 可实现金属溅射工艺、碳膜溅射工艺 及绝缘材料溅射工艺;腔室最高工艺温度≥****°*;极限真空≤.*******;压升率≤.*/****;支持最大晶圆尺寸*英寸;膜厚均匀性≤±*%。系联 人:简老师系联 电话:(****)********采购预计 时间:*******备注:公的采购单位采购的,本次 开 意向是本 政府 工作 初步安排 具体采购以相关采购公和采购为准项目情况告 文件 。业()哈尔滨工 大学 深圳**********
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