磁控溅射靶枪控制模块（HITJJ-2025000184）采购公告
2025-10-20
黑龙江/哈尔滨 招标采购
磁控溅射靶枪控制模块（HITJJ-2025000184）采购公告
黑龙江/哈尔滨-2025-10-20 00:00:00
黑龙江/哈尔滨-2025-10-20 00:00:00
磁控溅射靶枪控制模块（****************）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：***次
| 项目名称 | 磁控溅射靶枪控制模块 | 项目编号 | **************** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学 | 付款方式 | 先付**%，再付**% |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 | 到货时间要求 | |
| 预算总价 | ￥ ******.** | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | |||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射靶枪控制模块 | * | 项 | 工程和技术基础科学研究服务 |
| 预算单价 | ￥******.** |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | *、采用电机及杠杆链接，电机采用真空专用电机； *、角度精度控制：± *° ；角度重复精度：± *.*° ；磁控靶电动升降机构，升降区间****； *、具备高精度进气与混气功能，采用高精度流量计及不锈钢材质管路进气，采用超高真空截止阀控制气体进气与关闭； *、可利用软件对系统的样品工艺整体软件控制，包括磁控靶转动角度、升降；进气系统工作与停止；混气室工作与停止；工艺热辅助系统启停； *、可与莱斯科*英寸磁控溅射射频/中频靶枪配合，满足以上参数 |
| 售后服务 | 电 话 支 持 :**** 小时;质 保 期 :*年; 服务时限:报修 后 ** 小时;可完成目前靶枪与真空系统的配合调试工作，且质保期内，如发生匹配问题，**小时内予以响应，**小时内到达现场。; |
哈尔滨工业大学招标与采购管理中心
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相关附件：
