哈尔滨工业大学（深圳）真空电子束蒸镀系统设备采购项目意向公开

2025-10-20

广东/深圳招标采购

哈尔滨工业大学（深圳）真空电子束蒸镀系统设备采购项目意向公开
广东/深圳-2025-10-20 00:00:00

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采购单位:	哈尔滨工业大学（深圳）
项目名称:	真空电子束蒸镀系统设备采购项目
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	电子光学及离子光学仪器
采购需求概况:	为满足科研需求，现计划采购套英寸高真空电子束蒸镀系统，旨在实现大面积高质量薄膜的稳定制备。该系统必须能够提供优于 ×^****的极限真空环境，并确保在英寸样品范围内的镀膜厚度均匀性优于±% 。核心蒸发源需配备个容量为**的坩埚，且具备自动旋转选择坩埚及电子束自动扫描的功能。为达到真空要求，系统需配置抽速不低于* /的前级泵和抽速不低于** /的高真空冷泵。此外，系统需搭载全自动**控制系统，具备用户权限管理、工艺流程一键启动、数据记录与故障报警等功能。供应商须承诺在合同签订后个月内完成交货，并提供自设备验收合格之日起不少于*年的整机质保服务。
联系人:	肖老师
联系电话:	***********
预计采购时间:	*******
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准