气体流量；实时数字显示功率，工作腔压强，工作时间等 （5）放电系统：射频（13.56MHz），0-500W（可调）
" *****="****************">*. （*）组成：真空部分、电气控制、等离子发生器等 （*）整机外观：尺寸约*************（长宽高），有观察窗（防爆玻璃） （*）真空部分：容积约**；材质为石英玻璃；工作真空度最低≤****，最高≤****；温度≤**℃；配有真空泵、皮拉尼式真空计、*路气路（均为质量流量计，有精度要求不要浮子流量计） （*）电气控制：***+触摸屏；精确控制气体流量；实时数字显示功率，工作腔压强，工作时间等 （*）放电系统：射频（**.*****），******（可调）