无掩模版紫外光刻机一台(ZBZXHB2025023)延期公告
2025-10-17
四川/成都 变更澄清
无掩模版紫外光刻机一台(ZBZXHB2025023)延期公告
四川/成都-2025-10-17 00:00:00

无掩模版紫外光刻机一台(*************)延期公告

发布时间:********** **:**:**阅读量:**

延期信息

延期理由: 由于该项目报价情况不满足要求,本项目延期至********** **:** 因报价情况不满足要求,采购方决定延期
项目名称 无掩模版紫外光刻机一台 项目编号 *************
公告开始日期 ********** **:**:** 公告截止日期 ********** **:**:**
采购单位 四川大学 付款方式 请查看比选文件
联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后*日内 到货时间要求 合同签订后**个日历日内
预算总价 ***,***.** + + 未公布
收货地址 望江校区第一理科楼楼中*** 房间
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明 由于该项目报价情况不满足要求,本项目延期至********** **:**
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
无掩模版紫外光刻机 * 其他光学仪器
品牌 品牌* *
型号 *
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 一、货物名称
无掩模版紫外光刻机,一台
二、技术要求
*.★光刻精度:
至少支持三个光刻镜头:
光刻镜头*:最小线宽≤* μ*,工作距离≥** **
光刻镜头*:最小线宽≤*.* μ*,工作距离≥** **
光刻镜头*:最小线宽≤*.* μ*,工作距离≥** **
*.★具备交互式套刻指引功能
*.▲具备图像识别对焦功能
*.★支持光刻镜头电动切换
*.★曝光波长:激光光源*** **
*.数字掩模分辨率:≥**** × ****,微镜尺寸≤*.* **
*.显微观测:支持显微观测且不会引起光刻胶变性
*.▲支持最大样品厚度:≥* **
*.▲支持最大样品尺寸:≥*** ** × *** **
**.★支持样品电动旋转
**.样品吸附:支持样品吸附
**.★设备软件: 投标文件中需提供仪器彩页或者厂家白皮书等技术证明文件)
原位光绘功能
物像绑定功能
成像拼接功能
畸变矫正功能
**.画图软件:支持阵列画图、套刻画图
**.★支撑灰度光刻功能,灰阶***
**.★支持双吖丙啶光刻胶加工,响应产品制造商须对用户提供的样品做测试,并提供相关测试报告包含分辨率图和电极套刻图证明
**.★货期**个自然日内。
**.★为保证售后服务质量,拟中标供应商需出具生产厂家或者总代盖鲜章的授权书原件及售后服务承诺书原件

注:带“★”号标记的条款为强制要求,带“▲”号标记的条款为重要指标,无标记条款为一般指标。
售后服务 服务年限:**月;电话支持:****小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

四川大学

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