（一）***共焦显微拉曼光谱仪（核心产品）

*.功能要求:可实现显微共聚焦拉曼*荧光*白光反射吸收光谱及二维三维成像。

*.激发波长

★*.* *****激发波长：*** ** *****单频固体激光器，功率≥** **，拉曼低波数≤** **^**

★*.* *****激发波长：***** *****单频固体激光器，功率≥** **，拉曼低波数≤** **^**

▲*.* *****、*****激发光路内置激光功率计，拉曼原装软件实时显示打到样品表面功率或计算机控制激光多级衰减片≥**级；

▲*.* 拉曼原装软件端控制激光功率≤*.***步径连续调节或各个波长均配有激光扩束器，使激光光斑尺寸在焦平面上连续可调，并能连续改变到样品上的激光功率密度；

★*.* 仪器可升级到*****、*****、*****、*****等更多激发波长，实现*****、*****拉曼成像测试。

▲*.* 光谱仪焦长≤*** 毫米

▲*.* 光谱仪内同时内置≥*块光栅（***刻线、***刻线、****刻线），无需手动更换光栅即可实现≥*块光栅软件控制自动切换或者光栅使用***（** ** ***）、***（***）、***（*** ** ***）、***（***）、****（***）、****（***）、****（** ** ***）刻线/毫米高分辨率光栅，并能软件控制自动转换。

*.光谱仪与检测器系统:

★*.* 光谱分辨率：≤*.* **^**@*****谱线的全半高宽（验收标准：采用≤****刻线光栅，针孔或狭缝≥****，一次性连续测量**********全光谱范围）

★*.* 光谱重复性：≤±*.** **^**（验收标准：使用单晶硅，采用*** **激发及****物镜，重复**次，观察的硅*** **^**拉曼峰位可重复性）

★*.* 共聚焦高灵敏度：清晰观察到硅的四阶拉曼峰，其中硅的三阶拉曼峰（****～**** **^**）信噪比≥**:*，*_*和*_*拉曼峰不高于硅的四阶拉曼峰高度（验收标准：针孔或狭缝≤**微米, 激光波长*** **，激光功率≤**.***，积分时间**秒，累积*次，显微镜镜头为***或****）;

▲*.* 光谱检测器：像素尺寸≥****×*** ******，峰值量子效率≥**%。

*.共聚焦拉曼/荧光成像：

*.*真实针孔共聚焦系统：为保证系统时刻处于共聚焦状态，要求系统采用光纤针孔共聚焦，而非狭缝式的赝共聚焦或数字化虚拟针孔或机械针孔共聚焦；

*.*实时参数优化：调节参数时，可快速（积分时间≤*.** *）实时显示监测拉曼光谱，优化实验参数，无需重复测试。

▲*.* 快速成像：全光谱成像，光栅不转，单窗口可覆盖******** **^**大光谱范围采集，要求采集时间≤**毫秒

★*.* 拉曼成像横向光学分辨率：≤ *** ** @ *** **

（验收标准: 以直径不超过****的一维纳米材料为样品(不接受光栅样品), 使用***倍干物镜和共聚焦孔≥** **，以*** **为步长沿垂直纳米材料方向做拉曼线扫描, 获得纳米材料拉曼强度的空间分布曲线，其强度变化曲线的半峰宽即为拉曼成像横向光学分辨率）

★*.* 拉曼成像纵向光学分辨率：≤ *** **@*** **

（验收标准: 以**为样品, 以** **为步长沿*轴方向做拉曼线扫描, 使用***倍干物镜和共聚焦孔≥** **，获得**峰拉曼强度的空间分布曲线为高斯对称曲线，其强度变化曲线的半峰宽即为拉曼成像纵向光学分辨率。）

*.研究级共聚焦光学显微镜：

★*.* 开放式显微镜，*方向移动范围≥ ** **, *步长≤****，样品台可承重≥***，可放置各种高度和重量的原位池实现原位测试；

*.*三电极及两电极原位拉曼测试池：焦距≥***、池体尺寸≥直径Φ*******；

*.*全自动机械平台：**移动范围≥*******，**步长≤** **；

*.*光学显微镜配置科勒照明及透射照明方式

▲*.*通过调节物镜高低聚焦样品，无需调节样品台，保证稳定性；配置≥*.***.**光学防震平台*个；配置≥**寸显示器*个

▲*.*全自动光阑开关，可一键式快速聚焦样品表面进行拉曼测试

*.*光学图片拼接功能，可实现长≥***，宽≥***白光图片拼接

*.*一键式导航定位功能，在白光图点击任意位置即可一键式定位到目标点

*.*景深合成功能，可将粗糙不平样品的不同聚焦平面的白光图进行合成，生成全景深的二维清晰图像

▲*.**可采集微区白光反射光谱, 白光光谱横向空间分辨率：≤ *** **（验收标准: 单层石墨烯样品，以** **为步长沿垂直边缘方向做白光反射谱的线扫描, 获得反射谱强度的空间分布曲线，其强度变化的带边宽即为白光横向光学空间分辨率。）

*.**配备物镜：**倍物镜；**倍物镜；***倍物镜（**≥*.*，工作距离≥***）和**倍长焦物镜；

*.**可升级原子力联用，将原子力显微镜集成在共聚焦拉曼显微镜主机上，直接切换镜头即可实现联用，无需移动样品。

*.数据库软件

*.*自带高分子材料、矿物、半导体材料等数据库佐证≥****条。

*.*可导入第三方开源数据库或第三方商品数据库

*.*可自定义数据库

*.坐标系导航共定位联用功能

*.*两台仪器无需刚性耦合，无需特殊标记样品台耗材，即可实现共定位测试。

*.*可以跨空间、跨时间实现共定位测试。

*.*成像叠加：配置成像叠加软件，不同测试方式的成像结果可叠加显示。

*.高级数据处理软件

*.*包括多变量分析功能，***，***和团簇分析等功能

*.*可以处理**和**数据功能

*.*具有聚类分析，主成分分析等高级数学算法

*.计算机

*.*高性能计算机*台，不低于****内存，******硬盘，******刻录机，****网卡，正版******* ** ***位操作系统，至少** ”***显示器，可观察和存储显微镜下的白光像.

*.*光谱专业软件*包括仪器控制，拉曼/荧光/光电流数据采集、计算和处理及曲线拟合, 快速生成拉曼图像及图像计算,化学成分分析等各项功能；

★*.*提供离线数据分析软件，不限套数

（二）*** 样品电磁波能量测试单元*套

★*.* 频率范围：至少覆盖****至** ***；频率分辨率：≤***；

*.*端口数量：不少于*个；频率精度：± * ***；

*.*最大动态范围：≥*****；最大输出功率：≥+** ***；

★*.* 功率范围:至少覆盖 ****** ** +*****；

★*.* 幅度迹线噪声： ** *** ** * *** ≤*.*********

* *** ** ** *** ≤*.**** *****

** *** ** ** *** ≤*.*** *****

★*.* 相位迹线噪声：*** *** ** * *** ≤*.*** °***

* *** ** ** *** ≤*.*** °***

** *** ** **.* *** ≤*.*** °***

* *.* *** ** ** *** ≤*.** °***

*.*温度稳定度：幅度：± *.*** **/°*，相位 ± *.**°/°*；测试端口噪声：不高于**** ***；

*.*可升级具有自动夹具去除功能；可升级具有高温测试（室温～****℃）功能

*.*可升级具有时域分析功能和***测试功能；

★*.**主机具备***********雷电*级别以上接口，配备含***********雷电*级别以上接口的测试笔记本，不低于****内存，******硬盘，正版******* **操作系统；

*.**配备介电常数测试软件，传输线法测试可测试介电常数，磁导率，*参数，损耗角正切，阻抗；

*.**配备********同轴空气线套件；

*.**配备********校准件；配备********原厂射频线缆两根；配备电子加密狗*个；

（三）*** 样品喷碳制备单元*套

★*.*采用低温增强等离子磁控管设计，利用低压低电流直流磁控冷溅射，溅射镀膜电流：覆盖范围≥******，连续可调，调节步径≤* **；

★*.*可设定镀膜时间范围：覆盖≥******秒，连续可调，调节步径≤*秒；

*.*溅射工作真空范围：覆盖≥* * **^** 到* * **^******；

★*.*具备一体化镀碳模块；

*.*镀碳蒸发电流范围不小于*～***；

★*.*具备脉冲清洁功能，能够实现铝金属及各类易氧化金属镀膜；

★*.*镀膜腔室：采用可方便清洁圆柱形腔室，可整体拆卸，并配备防爆塑料保护装置及镀膜挡板，标准工作腔室尺寸：内径≥*****，高≥*****；

*.*样品台：配备直径≥****六孔旋转样品台，转速调节范围≥********，工作距离调节范围≥*******，保证均匀性；

*.*采用电容式触摸屏控制，配备双核***处理器及不低于****的闪存，可储存和调用≥****条镀膜程序及≥****条以膜记录；

★*.**配备真空互锁装置，真空无法达到自动切断镀膜源的电源，确保用户在放样取样时安全，具备过热保护功能，温度过热自动关闭电源。

★配置要求：

*)拉曼光谱仪主机：*套（含高性能计算机*台）

*)研究级共聚焦光学显微镜：*套

*)**×物镜、**×物镜、***×物镜、**×长焦物镜：各*个

*)透射照明附件：*套

*)景深合成：*套

*)*****单频固体激光器及对应光学元件：*套

*)*****单频固体激光器及对应光学元件：*套

*)激光功率数字化控制系统 ：*套

*)光谱仪（内置≥*块光栅）:*套

**)光谱检测器：*套

**)数据库软件：*套

**)高级数据处理软件：*套

**)离线数据分析软件：不限套数

**)控制器及配套软件：*套

**)样品电磁能量测试单元：测试主机*套（含***********雷电*级别以上接口的测试笔记本*台、电常数测试软件、********同轴空气线套件、********校准件、********射频线缆两根、电子加密狗*个）；

**)样品喷碳制样单元：多功能镀金镀碳一体机*套（含双级旋转机械泵*个、碳丝镀碳头*个、六孔旋转样品台*个、金属镀膜溅射头*个、金靶*个、标准等级碳丝*个）；

**)其他配套 ：≥*.***.**光学防震平台*个；≥**寸显示器*个