磁控溅射镀膜设备结果公告
2025-10-16
江苏/苏州 中标结果
磁控溅射镀膜设备结果公告
江苏/苏州-2025-10-16 00:00:00
江苏/苏州-2025-10-16 00:00:00
磁控溅射镀膜设备结果公告
发布日期：**********
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中标信息
| 成交供应商： | 苏州光拓科技有限公司 |
| 选择理由： | 总价最低，推荐成交 |
| 质疑投诉说明： | 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至招标与采购中心，逾期不予受理。 |
| 项目名称 | 磁控溅射镀膜设备 | 项目编号 | ***************** |
| 项目编号 | ***************** | ||
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 报价截止时间 | ****/**/** **:** |
| 报价截止时间 | ****/**/** **:** | ||
| 采购单位 | 太原理工大学 | 付款条款 | 签订合同后，供应商在合同约定交货时间内将货物送到采购人指定地点，并完成安装、调试，经采购人技术验收合格，采购人在收到供应商开具的增值税发票后**日内向供应商支付合同金额***%，否则，按合同约定扣除相应违约金后，支付剩余合同金额。 |
| 付款条款 | 签订合同后，供应商在合同约定交货时间内将货物送到采购人指定地点，并完成安装、调试，经采购人技术验收合格，采购人在收到供应商开具的增值税发票后**日内向供应商支付合同金额***%，否则，按合同约定扣除相应违约金后，支付剩余合同金额。 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 采购预算 | ￥***,***.** | 成交金额 | ￥***,***.** |
| 成交金额 | ￥***,***.** | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起**日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 太原理工大学明向校区物理与光电工程学院***室 | ||
采购清单
*
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | 分项报价 | |
| 磁控溅射镀膜设备 | 否 | 台 | * | *)所供货物自技术验收合格之日起，享受*年免费配套服务； *)免费配套服务期内，设备出现非人为因素操作不当产生的问题，由生产厂商免费维护、免费维修、免费更换; *)免费配套服务期内，在接到用户要求进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，生产厂商技术人员于**小时内，赶到技术服务现场；此外，对使用设备人员进行免费培训。 | ￥***,***.** | |
| 品牌及型号 | 苏州光拓（*********） 苏州威格（**********） | |||||
| 技术参数要求 | *.底盘结构采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈； *.底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。 *.带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。 *.电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。 *.基片架结构上基片盘可以容纳*片**.******.***小基片，并可在线切换两次掩膜板，下基片盘采用嵌入式结构，可搭载*片*英寸基片。 *.基片可上下升降，行程****，电机驱动实现连续旋转，最大转速可达**转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。 *.配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡*片**.******.***与*片*英寸基片。 *.强磁靶*个，*英寸，带靶挡板，靶角度可调节，可溅射金属及金属氧化物以及其它材料。 *.靶通水冷，保护磁铁在高温溅射过程中消磁，工作压强(溅射)：*.*～** **，溅射不均匀性≤±*％。 **.配备*路***控制器，氩气、氧气、氮气，流量上限分别为*******, ******, *******。 **.*台射频电源，功率不小于****，**.** ***. **.采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成。 **.控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换。 **.带有一键自动溅射功能。 **真空室由不锈钢制成，内部尺寸约为*****************，装有基础结构和挡板的固定装置，以及靶、真空泵、样品盘等装置。 **.真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配两个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。腔体极限真空优于****^****，从常压到****^****不超过*****（充氮气保护），保压**小时，压强小于****。 **.带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及靶材的更换。 **.腔体内表面预留安装金属防污挡板接口，后期可安装金属防污挡板。 **.前级泵的抽速不低于****/*。 **.主泵采用抽速≥****/*的分子泵。 **主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥*****。 **.自动抽气控制，带安全互锁功能。 **.真空室配真空计，测量范围为大气至**^****。 | |||||
该项目其它公告
- 磁控溅射镀膜设备竞价公告 ********** **:**
