武汉理工大学采购离子束发生器

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为便于供应商及时了解采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》等有关规定，现将武汉理工大学 **** 年 ***** 月采购意向公开如下：

序号

采购项目

名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

离子束发生器

拟采购一套离子束发生器一套

能高效解离 **、*？、*？等多类工艺气体；束流强度及束压范围，可满足不同精度实验需求。从源头减少杂质污染，适配半导体薄膜等敏感工艺；配备双路水冷系统，保障长时间稳定运行，还支持离子束溅射、辅助沉积、刻蚀等多工艺快速切换，便于参数监测与优化。

**.**

****年*****月

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

武汉理工大学

****年**月**日