功能：用于晶圆的光学对准。 * 配置正面及背面相机 * 使用相机品牌型号：无要求 * 相机数量 正面*个，背面 *个 * 光学倍率*倍 * 相机像素：***万像素相机； * 相机驱动 *** 三轴调整控制 * 控制方式 ****** * 移动范围：*轴移动范围**~*****：*轴 工件中心±*** * 工作台 **轴 ±***，θ轴±*°调节 ** 工作台*轴μ*级精密***控制。 ** 画像处理 配置专用画像处理系统 ** 画像靶点可存储和修改。 ** 可通过预设参数进行自动抓取靶点。 ** 预设靶点误操作时，可通过调整参数，重新匹配 ** 对位次数，精度，补正等参数，可以在画像系统中设定 ** 配方可以进行复制，方便操作。数量可达***个。 ** 显微镜各位置可保存。 ** 光刻时可以自动退避。

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