科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手(XF-WSBX-2500455)延期公告
2025-10-09
浙江/杭州 变更澄清
科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手(XF-WSBX-2500455)延期公告
浙江/杭州-2025-10-09 10:29:32

科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手(***************)延期公告

发布时间:********** **:**:**阅读量:*

延期信息

延期理由: 由于该项目报价情况不满足要求,本项目延期至********** **:** 因报价情况不满足要求,采购方决定延期
项目名称 科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手 项目编号 ***************
公告开始日期 ********** **:**:** 公告截止日期 ********** **:**:**
采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款,甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后*个工作日内 到货时间要求 成交后**个工作日内
预算总价 ***,***.** + + 未公布
收货地址 玉泉校区微电子楼超净实验室***
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明 由于该项目报价情况不满足要求,本项目延期至********** **:**
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手 * 电子工业生产设备
品牌 品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 *.运动控制精度与稳定性
*)重复定位精度:±*.***以内;
*)*曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆。
*.材料与环境适应性
*)真空环境:*.**×******
*)洁净度要求:*** ******以上;
*)温度:真空腔体内常温;
*.结构设计与负载能力
*)在下图黑色框区域内手臂回转,机械手指从出料口取片,通过上料口运送至行程*****的指定位置。手臂伸出距离*****,干涉范围*****,旋转范围***°,*轴行程****。
*)负载能力
可搬运质量:***,并提供定制手指。

浙江大学

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