哈尔滨工业大学（深圳）三工艺腔磁控溅射设备意向公开
2025-09-30
广东/深圳 招标采购
哈尔滨工业大学（深圳）三工艺腔磁控溅射设备意向公开
广东/深圳-2025-09-30 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
广东/深圳-2025-09-30 00:00:00
哈尔滨工业大学（深圳）三工艺腔磁控溅射设备意向公开
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哈尔滨工业大学（深圳）三工艺腔磁控溅射设备意向公开
| 采购单位: | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 项目名称: | 三工艺腔磁控溅射设备 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 核技术应用设备 |
| 采购需求概况: | 设备需配置*套工艺腔室、*套自动传输转接腔、*套**** ****腔，可实现金属溅射工艺、碳膜溅射工艺以及绝缘材料溅射工艺；腔室最高工艺温度≥****°*；极限真空≤*.******；压升率≤*.***/*；支持最大晶圆尺寸*英寸；膜厚均匀性≤±*%。 |
| 联系人: | 简老师 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
