标的名称：热丝化学气相沉积设备
数量/单位：*套
预算金额（元）：******.**

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需实现的主要功能或者目标：用于生长金刚石膜、类金刚石膜等碳材料。也可制备掺硼金刚石电极、***电极、金刚石薄膜电极等。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：真空腔室尺寸:Φ***×******;基片台尺寸:Φ*****;极限真空≤*.***;设备保压能力≤*.***/*,**小时保压好于****;总功率:≥****，*气路均采用质量流量计，可进行鼓泡式硼掺杂。可控温且控温精度小于±*.*%。样品台可升降旋转；保修期一年，售后响应时间***内；电控系统配有水压报警系统，真空室等需要冷却的组件进行水冷却断水报警，在水路上安装 有水压继电器，一旦缺水或水压不足，将进行声光报警并切断相应电源，以防止损坏设备。并具有一键控制设备功能，配方编制，存储，控制及泵阀自动开关功能；交货期限*个月。