一、采购标的需实现的目标

能够在室温到***°*对金属、陶瓷、薄膜、聚合物等样品进行标准纳米压痕、连续刚度法纳米压痕、变应变速率纳米压痕、纳米压痕疲劳、快速纳米压痕成像实验、高精度纳米压痕成像实验等测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、纳米磨损性能、断裂韧性、应力松弛、疲劳等性能。

二、采购标的需执行的标准

**/* ********** 仪器化纳米压入试验方法通则

三、参数

*.纳米压痕:

▲*.*力量加载方式：静电压驱动；

*.*最大载荷：≥** **；

*.*载荷分辨率：≤* **；载荷噪音背景：≤*** **；

*.*位移测量方式：电容传感器；

*.*最大压入位移：≥* μ*；

*.*位移噪音背景：≤*.* **；

*.*热漂移(在室温条件下)：≤*.** **/*；

*. 纳米磨损:

*.*通过压电陶瓷扫描连带电容传感器进行纳米磨损测试，可无缝配合原位扫描成像算出移除体积；

*.*磨损面积范围至少覆盖：* μ*×* μ**** μ*×** μ*；

*. 原位扫描成像及定位系统：

▲*.*不更换样品台，可以对样品进行连续不间断的**原位扫描成像；扫描过程中压头在动，而非样品台在动；原位扫描探针的位置控制精度：压痕±** **的位置；

*.*扫描频率不小于：*.** **–*.* **；

*.*扫描分辨率: ≥***×***像素点；

*. 快速压痕模块：

★*.*高速力学特性测试：每秒钟≥*个压痕点；

*.*快速、高分辨率硬度和模量统计分布特性图像；

*.*可自动与原位扫描成像图像叠加，做力学与表面形貌分布图；

*. 动态纳米力学

*.*系统能够通过连续刚度测量模式来测量接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布，测试频率范围至少覆盖：*.*********；

*.*最大动态振幅力：≥***；

*.*最大准静态力：≥****；

*.*最大动态振幅：≥*.*μ*；

*.*最大准静态位移：≥*μ*；

*.*位移噪声背景：≤*.***；

*. 温度模块

★*.* 温度操作范围：室温到***℃；

*.* 采用***温度反馈控制使样品快速的达到测试温度，并保持平衡；

*.* 采用微腔式加热，样品顶部和底座兼有加热和温度反馈功能，同时腔体上下均采用循环水冷却系统来保证加热温度的稳定性；

*.* 加热速率：≥**℃/***；温度分辨率：≤*.*℃；控温精度：≤*.**%；

▲*.*可以在高温下进行纳米压痕、纳米摩擦、原位扫描成像、快速压痕和动态力学测试等；

*. 光学系统:

*.* 具备连续变焦功能；

*.* 显示屏放大倍数至少覆盖：********；

*. 高精密定位平台:

▲*.*可以兼容各种形状的样品，样品尺寸: ≥*** **×*** **×** **；

▲*.****方向平台可移动范围: ≥*** **×** **；

★*.**方向可移动范围：≥** **；

*.* *、*方向步长分辨率: ≤** **；* 步长分辨率: ≤* **;

*. 数据采集和控制系统:

*.*设备可以在力和位移反馈控制模式下工作；

*.*反馈回路频率≥** ***；

**. 软件

**.* 包含专用的力学测试软件，包括纳米压痕、连续刚度测量纳米压痕、动态力学分析、疲劳测试、变应变速率纳米压痕、压头尺寸校正等；

**.* 软件能自动保存每次实验的参数和设置；后续实验时用户可直接导入之前的测试参数和设置进行操作；

**.* 模量、硬度、接触深度、接触刚度及接触面积自动计算；

**.* 包含终身免费的软件升级。

★三、配置要求

*、一台高通量纳米压痕仪，包含减震台和环境隔离罩

*、一套测试和数据分析软件

*、一个不低于****载荷量程的传感器

*、一个压电陶瓷扫描管

*、四枚室温金刚石压头

*、一套高温测试模块

*、两枚高温金刚石压头

*、电脑和显示器各一台