*.腔体材质：不锈钢表面处理 *.电源：** **** *.工作电流：整机工作电流不大于 **（含真空泵） *.工作功率：整机工作功率不大于****（含真空泵） *.电源功率：******* 连续可调（全智能触屏操作界面） *.频率：***** *.真空度：****** *.*气体路数：高精密*路浮子流量计，采用*路气体设计，可单独或混合***种气体清洗 *.气体流量：********/***（可调） **.过程控制：全自动控制与手动（***人机界面） **.清洗时间：***** 秒可调 **.*清洗功率大小：********连续可调 **.内腔尺寸：ø*********** **.外形尺寸：***************** **.重量：**** **.真空泵抽速**/* **.真空室温度小于** ℃ **.冷却方式：强制风冷

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