[**********]相变光子器件晶圆代工成交公告

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*.项目名称：相变光子器件晶圆代工

*.成交供应商名称：湖北九峰山实验室

*.成交供应商地址：湖北省武汉市东湖新技术开发区九龙湖街*号

*.成交金额(折合人民币)：******元

*.付款方式：合同签订后*个工作日之内预付合同金额的**%，服务完成且验收合格后*个工作日之内支付合同金额**%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	相变光子器件晶圆制备涉及晶圆级光刻、刻蚀及相变材料沉积工艺代工服务，通过紫外光刻、干法刻蚀、磁控溅射工艺，实现满足指标要求的代工工艺，如光栅、波导、相变材料，曝光位置误差不超过***，线宽误差不超过*，刻蚀深度误差不超过，沉积相变材料组分设计误差不超过%，总体完成相变光子器件晶圆的代工制备服务。	合同签订（收到版图文件）后的**日历天内

华中科技大学集成电路学院

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