标的名称：台式薄膜沉积系统

标的数量：*

主要功能或目标：台式薄膜沉积系统主要功能是制备高性能致密薄膜。原子层沉积通过基于样品表面饱和化学吸附和氧化还原反应，可以实现薄膜单原子层厚度生长，并可以通过控制反应循环次数来精准控制膜厚，具有良好的台阶覆盖率和精确的膜厚控制能力，制备结果具有很高的膜厚均匀性。

需满足的要求：可加热至近***℃，确保多样样品均匀沉积。侧开门密封，支持手套箱联用。反应腔温控精准（±*℃），均匀性≥**%。集成高效真空计、**流量控制，支持连续与驻留沉积。配备高速阀门、独立加热气路、大容量前驱体瓶，保障稳定高效沉积。需预装笔记本电脑软件，便于自动工艺控制。*****沉积测试显示薄膜均匀性≤±*%。