*、有效电镀面积：***** *、采用螺丝固定搭配扭力扳手 *、耐腐蚀塑料+耐腐蚀合金+耐腐蚀橡胶 *、性能维度：（*）机械性能：外形尺寸：挂具的长，宽，高 具体尺寸公差±***（卡尺 ，三次元（***））；晶圆中心与挂具中心的偏差＜*.***（三次元（***））；支撑和导电的触点总数≥***；材料在高温下抵抗变形的能力**℃（热机械分析（***））；挂具主体可重复使用的次数****次循环（视工艺苛刻程度而定）（循环测试与性能检测）（*）电气性能：单个触点与晶圆间的导通电阻＜***Ω；所有触点间电阻的一致性差异＜±*%（四线开尔文测试）（*）化学性能：在药液中浸泡后的尺寸/重量稳定性：变化率 ＜±*%（浸泡实验后测量）；金属接触点在特定药液中的腐蚀失重＜*.***/年（浸泡失重法，***/***分析）；临界点蚀温度（***）：发生点蚀腐蚀的最低温度：工艺温度**℃，标准腐蚀测试（*******等）；密封泄露率：对于有中空密封结构的挂具，其气密性＜**********.*/*（氦检）氦质谱捡漏仪。（*）功能性能：机械缺陷率＜*.**%（晶圆缺陷扫描仪（*********））平均修复时间(****)：挂具维护或更换所需平均时间*小时。 需要提供实验测试数据证明。

*.质保*年； *.紧急故障： 响应时间：*** 小时内（电话 / 视频远程排查）； 现场支持：若远程无法解决，** 小时内派工程师到客户现场 *.一般故障： 响应时间：* 小时内远程指导； 解决方案：** 小时内提供维修方案或替换部件。 *.维修服务： 质保期内：免费维修（含配件更换，如导电触点、定位夹具），往返物流费由供应商承担； 质保期外：提供付费维修，明确维修报价（含配件费、工时费）。 *.培训服务：交付后免费提供 *** 次操作培训（含挂具装卸、日常维护、故障排查）

*、有效电镀面积：***** *、采用螺丝固定搭配扭力扳手 *、耐腐蚀塑料+耐腐蚀合金+耐腐蚀橡胶 *、性能维度：（*）机械性能：外形尺寸：挂具的长，宽，高 具体尺寸公差±***（卡尺 ，三次元（***））；晶圆中心与挂具中心的偏差＜*.***（三次元（***））；支撑和导电的触点总数≥***；材料在高温下抵抗变形的能力**℃（热机械分析（***））；挂具主体可重复使用的次数****次循环（视工艺苛刻程度而定）（循环测试与性能检测）（*）电气性能：单个触点与晶圆间的导通电阻＜***Ω；所有触点间电阻的一致性差异＜±*%（四线开尔文测试）（*）化学性能：在药液中浸泡后的尺寸/重量稳定性：变化率 ＜±*%（浸泡实验后测量）；金属接触点在特定药液中的腐蚀失重＜*.***/年（浸泡失重法，***/***分析）；临界点蚀温度（***）：发生点蚀腐蚀的最低温度：工艺温度**℃，标准腐蚀测试（*******等）；密封泄露率：对于有中空密封结构的挂具，其气密性＜**********.*/*（氦检）氦质谱捡漏仪。（*）功能性能：机械缺陷率＜*.**%（晶圆缺陷扫描仪（*********））平均修复时间(****)：挂具维护或更换所需平均时间*小时。 需要提供实验数据证明。

*.质保*年； *.紧急故障： 响应时间：*** 小时内（电话 / 视频远程排查）； 现场支持：若远程无法解决，** 小时内派工程师到客户现场 *.一般故障： 响应时间：* 小时内远程指导； 解决方案：** 小时内提供维修方案或替换部件。 *.维修服务： 质保期内：免费维修（含配件更换，如导电触点、定位夹具），往返物流费由供应商承担； 质保期外：提供付费维修，明确维修报价（含配件费、工时费）。 *.培训服务：交付后免费提供 *** 次操作培训（含挂具装卸、日常维护、故障排查）