i-line光刻机紫外光学灯具

2025-09-22

江苏/南京招标采购

i-line光刻机紫外光学灯具
江苏/南京-2025-09-22 00:00:00

东南大学 * 竞价公告 (*****************)

发布时间：********** **:**:** 截止时间：********** **:**:**

基本信息：

采购明细：

****** 光刻机紫外光学灯具

*(台)

牛尾

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* 光刻主波长为*****,*****,***** * 最大光刻范围φ*英寸 * 初期保证照度 ****/***以上（*******，********） * 照射距离：***.*** * 照度均一度：±*%以下 * 视角：±*.*°（半角） * 露光量控制积算光量 ******* * ******* 开闭时间 *秒 * 设定范围：*～******/**² ** 灯管：********** ** 灯管保证寿命 ***** ** 电压：********** 功率：****,电流 *.** 以下

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