ALE改造升级套件

2025-09-22

江苏/无锡招标采购

ALE改造升级套件
江苏/无锡-2025-09-22 00:00:00

东南大学 * 竞价公告 (*****************)

发布时间：********** **:**:** 截止时间：********** **:**:**

基本信息：

采购明细：

*********** *** *** ***设备升级套件

*(套)

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邑文

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*.原有*********** *** *** ***设备从*寸改造为*寸，实现*寸晶圆作业； *.改造后刻蚀速率****Å~****/***，刻蚀速率一致性**** ***;*%； *.包含：*英寸陶瓷****套；边缘环*套；***** *型圈共*件；*英寸陶瓷隔板*件；*英寸陶瓷水盘*件等。 *.质保期不少于*年

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