热蒸发镀膜机(清采比选20251627号)采购公告
2025-09-17
北京 招标采购
热蒸发镀膜机(清采比选20251627号)采购公告
北京-2025-09-17 00:00:00

热蒸发镀膜机(清采比选********号)采购公告

发布时间:********** **:**:**阅读量:次
采购项目名称 热蒸发镀膜机 采购项目编号 清采比选********号
公告开始时间 ********** **:**:** 公告截止时间 ********** **:**:**
对外联系人 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 联系电话 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭
签约时间要求 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同,采购单位有权取消或变更采购结果) 交货时间要求 签订合同后**个工作日内
采购单位 清华大学
最高限价 ***,***.** 未公布
国内合同付款方式 合同签订后**%,验收合格后**%
交货地址 北京市清华大学
供应商特殊资质要求

;环境管理体系认证证书 (必选) ;企业质量管理体系认证证书 (必选)

采购清单*
物资名称 采购数量 计量单位
热蒸发镀膜机 *
品牌 品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 *.★真空腔室:真空专用 *** 不锈钢腔室镜面抛光处理(提供高真空腔体杂质气体析出分析检测报告);一体化设计占用手套箱尺寸宽度小于*****(提供图片佐证)
*.真空极限:极限真空≤*×*** ***;漏率≤ *×**-*****/*(国家标准);保压测试关机 ** 小时后,真空度≤***;
*.抽速:抽气时间大气压~**** *** <*****;
*.基片台:抽屉式结构,承载≤ ********* 样品,配气动挡板(供货时提供有机真空镀膜掩膜装置专利文件等相关文件)
*.成膜质量:膜厚不均匀性≤*%,膜厚重复性≤*%。
*.★金属蒸发源及电源:配 * 组金属蒸发源,配备 * 组有机束源炉,蒸发电源*套。可实现多源共蒸。
*.★低温冷阱*套;
*.★配有*台进口******* ********膜厚仪;配备*路水冷*****晶振探头;
*.控制方式:西门子 ***+西门子触摸屏手自动控制;可输入速率及终厚,***调节自动控制蒸发;电源输出。
**.细节设计:抽气口加装过滤装置,气路设计避免扬尘;
**.★三工位手套箱箱体,泄漏率≤*.******%/*,***不锈钢材质,箱体内有多层搁物架,可调节高度;箱体底部配有支架,旋转脚轮,可微调水平,配有用于压力调节的脚踏板,箱体配有大过渡舱和小过渡舱。
**.★气体净化柱:净化材料可再生,且再生过程自动控制、自动除水除氧功能,***﹤****,**﹤****。气体控制阀:不锈钢电磁集成阀座,循环能力:集成风机流量≥****/*,加装变频控制。
**.★水分析仪:采用美国***品牌,型号为**********,测量范围为*~******,采用****传感器,应用范围广,尤其对于锂电制造及金属有机等用户,可以进行清洗并重复使用,避免了一次污染即报废的问题。★氧分析仪:采用美国***品牌,型号为**********,测量范围:*~*******,采用二氧化锆传感器,避免了燃料电池(电化学电池)寿命短,不能暴露在高氧中的问题,后续维护成本低,要求水氧分析仪生产厂家提供该功能的证明文件。
**.前窗采用倾斜的视窗,透明钢化安全玻璃,厚度***,玻璃视窗采用实芯*型密封圈,米开独有的(真空密封方式)法兰视窗结构,达到无泄漏。不接受单层或双层密封圈的密封方式。需要提供证明官网,样册证明,包括实物照片、结构图加以佐证。
**.进口品牌真空泵,可手动或通过***启动,流量****/*,可对过渡舱抽真空,并保持箱体压力平衡,真空泵真空度可达*×*****。

**..提供制造商售后服务承诺书,质保期:**个月,质保期内可提供原厂备件,拒绝返修,配件只换不修;
**..确保提供的货物是已定型上市销售的全新、原产地、原包装、手续合法完整、渠道正规的产品,完全符合国家其他相关标准、投标文件的性能指标及功能要求。
质保期 **个月

清华大学

********** **:**:**

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