等离子体源参数： 功率：******； 工作气压：*.********； 气体种类：空气、氧气、氩气、氢气； 真空接口种类：****； 重量：***； 尺寸长*宽*高：************* 控制柜参数： 尺寸长*宽*高：*************； 重量：***； 电源要求：***/******，**/**** ; 射频频率：**.*****； 功率消耗：*****； 特征电阻：**Ω； 通讯方式：以太网； 软件：专用控制软件。 氢气配置： *、氢气纯度：**.***% *、氢气流量：*******/*** *、输出压力：*.**** *、可用纯水：大于**Ω去离子水或二次蒸馏水（***≤*） *、压力稳定性：***;*.****** *、供电电源：*****/******±**% **** *、最大消耗功率: **** *、外形尺寸：***************** *、净重：约**.***

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