*、转速：**********、精度±****；空载加速**********/*；*、均匀性：优于±*%；*、可实现阶梯转速控制，最多设定**段转速，时间设定*******；*、可存储**个配方程序进行调用；*、****托盘：碎片~*英寸托盘全部配齐；*、**腔体，一次性衬底；

*、为提供更好的服务，供应商必须在宁波设有独立法人的分支机构，需提供原厂针对该项目的售后服务承诺书；*、要求供货商在本地有固定服务点；*、中标商需上门安装、调试并提供为期两天的培训；*、质保期内如需返厂维修，供货商承担来回费用。