*.光刻智能操作模组： （*）画图功能：支持阵列画图、套刻画图 （*）套刻辅助：交互式套刻指引功能 （*）原位光绘：支持原位绘制光刻图形 （*）物像绑定：支持样品图形和光刻图形绑定，实时对应 （*）成像拼接：支持样品图形的大范围拼接，实现大范围样品查找 （*）畸变矫正：支持光刻图形算法畸变矫正，实现精准套刻 *.其他功能： （*）支持基片尺寸：最大*** ** × *** ** × ** ** （*）.外壳组件：主体外壳：** **（长）× ** **（宽）×** **（高） （*）样品吸附功能：支持样品吸附

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）