浙江大学温州研究院2025年9月MPCVD政府采购意向
2025-09-16
浙江/温州 招标采购
浙江大学温州研究院2025年9月MPCVD政府采购意向
浙江/温州-2025-09-16 00:00:00
浙江/温州-2025-09-16 00:00:00
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将浙江大学温州研究院****年*月*****采购意向公开如下：
| 采购单位 | 浙江大学温州研究院 |
| 采购项目名称 | 大尺寸微波等离子体***系统 |
| 预算金额（元） | *******.** |
| 预留中小企业采购份额 | 否 |
| 落实政府采购政策功能情况 | 落实政府采购相关政策 |
| 预计采购时间 | ****年**月 |
| 采购需求概况 | 标的名称：大尺寸微波等离子体***系统 采购目录：*********其他仪器仪表 需实现的主要功能或者目标：采用*** ***的微波源，将**/***/**/**气氛激发为大尺寸均匀的高能等离子体，在硅/碳化硅/钼/金刚石等基体实现大尺寸金刚石的高效外延生长/刻蚀，亦可用于小尺寸金刚石的大批量外延生长/刻蚀 需满足的质量、服务、安全、时限等要求：沉积面积≥*英寸；电源功率： ** **；微波频率：*** ***；一年内上门维修服务；易燃易爆气体泄漏报警装置；冷却水压自动检测及报警装置；符合使用要求。 |
| 联系人 | 余佳晨 |
| 联系电话 | ************* |
| 备注 | / |
浙江大学温州研究院
****年**月**日
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
