上海交通大学2025年10月政府采购意向

2025-09-12

上海/上海招标采购

上海交通大学2025年10月政府采购意向
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上海交通大学****年**月政府采购意向

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政府采购意向公告上海交通大学上海交通大学****年**月政府采购意向政府采购意向为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将上海交通大学上海交通大学****年**月政府采购意向采购意向公开如下：序号采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额（万元）预计采购时间备注*电子束曝光机*********其他仪器仪表电子束曝光机，*台，电子束曝光机要求为：*）分辨率：≤** **；*）加速电压：*–*** **；*）光斑尺寸：≤** **；*）真空度：****;**;**⁻⁶****；*）定位精度：≤* **。供货期：签订合同之日起，**个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。***********

*复合镀膜系统*********其他仪器仪表含有电子束蒸镀腔、低温热蒸镀腔以及磁控溅射腔三个主要腔室。电子束蒸镀腔极限真空****;**;*.********，含有*个蒸发源。磁控溅射腔极限真空****;**;*.********，含有*个靶枪，可独立进气。热蒸发蒸镀室极限真空****;**;*.********，样品台温度低于***，热蒸发坩埚不少于*个，带有氦气进气系统，配有高精度流量控制仪。各腔室带有独立膜厚测量仪，膜厚均匀性好于±*%。***********低温*****测量系统*********其他仪器仪表无液氦制冷，制冷功率大于*.**@**，变温范围：≤*.*******；矢量磁体：******；磁体电源： **, *** *，四象限；样品腔内径不小于****；带*套*****测量芯片及室温电路；带频谱仪（频谱范围*********）；带温控仪及温度计；带主动减震系统。***********低温步进与扫描系统*********其他仪器仪表液氦杜瓦体积不小于*** *，磁体为********，冷孔直径不小于*****。磁体电流****;**;****，磁场稳定性：****;**;*****/*；电流引线* 对，磁体电源：* *, *** *，四象限。带液氦闭循环系统；带测试插杆套件，最低温度可达*.**。压电扫描器与步进器：扫描范围 ***** ***，步进范围：***** **，兼容极低温强磁场。扫描控制系统：信号采集通道精度与速率 ***** * **/*，输入噪音****;**;*** ** /√**@** ***, ***; *****/√**@****，输入输出电压范围：± ** *；输入通道** 个，输出通道** 个。带主动减震系统。***********湿式稀释制冷机扫描探针显微镜系统*********其他仪器仪表*、稀释制冷机：最低温度：≤****；稳定度 *.***，制冷功率*****@*****；样品空间直径不小于****；同轴线通道不少于** 个。*、磁体为********，冷孔直径不小于*****，杜瓦体积不小于*** *；磁***********

体电流****;**;****，磁场稳定性：****;**;*****/*；电流引线* 对；磁体电源：* *, *** *，四象限。*、带液氦闭循环系统。*、压电扫描器与步进器：扫描范围 ** * ** ***，步进范围： * * * ** **，兼容极低温强磁场。*、扫描控制系统：信号采集通道精度与速率 ***** * **/*，输入噪音****;**;*** **/√**@** ***,****;**;*** **/√**@****，输入输出电压范围：± ** *；输入通道 **个，输出通道** 个；带音叉振荡控制系统和锁相环。*、精密源表（可输出±***）*台；高压精密源表（可输出±****）*台，分辨率 *** /*****；精密锁相放大器*台，灵敏度区间 * ** 至* *。*、带主动减震系统。*、带定制针架/样品架。*极低噪声低温恒温系统*********其他仪器仪表极低噪声低温恒温系统，*套，极低噪声低温恒温系统要求为：*）等效噪声密度≤***/√**；*）无负载基础温度：≤****；*）**** 时制冷功功率： ≥**μ*；***** 时制冷功率： ≥***μ*；*）无热负载下从室温（~****）降到最低温（≤****）花费时间：≤** 小时；*）无热负载下，可在基础温度下（≤****）持续运行时间：≥** 天。供货期：签订合同之日起，**个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。***********离子束刻蚀设备*********其他仪器仪表离子束刻蚀设备，*台，离子束刻蚀设备要求为：*）离子能量：***–**** **；*）刻蚀速率：*–*****/***；*）各向异性：****;**;**%；*）均匀性：±*% (*** * ****)。供货期：签订合同之日起，**个月内货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。***********

*真空多腔体磁控溅射系统*********其他仪器仪表真空多腔体磁控溅射系统，*台，真空多腔体磁控溅射系统要求为：*）真空度：≤ *.****（**） **；*）射频源功率：≥*** *；*）薄膜均匀性：±* % （*** * ****）；*）沉积温度：室温至***°*。供货期：签订合同之日起，**个月内货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。***********深硅刻蚀设备*********其他仪器仪表深硅刻蚀设备，*台，深硅刻蚀设备要求为：*）刻蚀深度：**–****μ；*）深宽比：****;**;**：*；*）刻蚀速率：*–** */***μ；*）侧壁垂直度： ≥**°。供货期：签订合同之日起，**个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。************反应离子刻蚀设备*********其他仪器仪表反应离子刻蚀设备，*台，反应离子刻蚀设备要求为：*）工作压力范围：* ** 至** **；*）刻蚀分辨率：≤ ** **；*）射频功率范围：*** * 至**** *；*）支持基片尺寸：*** **；*）刻蚀均匀性：≤±*%。供货期：签订合同之日起，**个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。**********

**铁基纳米线掩膜生长系统*********真空应用设备掩膜分子束外延一台。配套八个蒸发源安装法兰口，高中温源*个，低温源*个，配套****反射式高能电子衍射仪及其分析软件。供货期:签订合同之日起，**个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。************激光浮区炉*********其他仪器仪表激光功率***，温度****;**;****摄氏度，无坩埚生长，温度梯度****;**;*度/* **，最大生长位移****;**;*** **，可提供晶体生长所需的多种气氛环境。**********本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。上海交通大学**********