*、设备外形尺寸：主机+机组约******×*****×****** *、真空腔体：采用石英腔体，外径φ**±***； *、真空管路：石英管两端配有密封法兰，机组与密封法兰之间采用****波纹管连接，以方便拆装； *、炉体结构：一体式； *、炉体尺寸：外径φ***×内径φ****； *、温度：长期工作温度：≤***℃；设计最高温度：****℃；单点温控稳定性：***℃±*.*℃；开机温度重复性：≤*℃；升温速度：≤*℃/分； *、真空：直联泵+分子泵；空炉冷态极限真空度优于*.********；泵前配置过滤器； 石英管一端安装压力传感器； *、温度控制：控温器+调功器+执行元件+热偶组成；热偶类型：*型工业一级；测量范围：*～****℃；热偶分配：*只控温； *、电源：*****，******±**%,****，三相五线制；

按行业标准提供服*、供应商自己负责卸货和搬运上楼、免费安装调试、保修期内免费上门保修，不接受快递或物流送货； *、设备必须配齐所有安装配件、部件等材料，要按指定的技术规格参数和品牌供货； *、需在申购要求的送货时间内送货并完成安装调试，*、其他按行业标准提供服务务