近日，市发展改革委批复了关于高端晶圆处理设备产业化创新路项目《节能报告》审查意见。

建设规模及主要内容：

该项目为半导体专用设备的研发、生产装配及试运行，建成后年产前道浸没式涂胶显影机**台、前道堆叠式涂胶显影机**台、前道浸没式涂胶显影机**台、前道**寸涂胶显影机***台。

项目总用地面积*****.**平方米，新建建筑*栋，总建筑面积为*****.**平方米，其中厂房建筑面积*****.**平方米，生活中心建筑面积****.**平方米，库房建筑面积***.**平方米，连廊建筑面积为***.**平方米。新建停车位***个。

项目用能情况：该项目能源消耗品种主要为电力、天然气，耗能工质为新水。

年综合能源消费量合计****.**吨标准煤（当量值）、****.**吨标准煤（等价值），其中电力消耗****.**万千瓦时，折合****.**吨标准煤（当量值）、****.**吨标准煤（等价值）；天然气消耗量***.**万立方米，折合****.**吨标准煤；新水消耗量**.**万吨。项目单位产品综合能耗**.**吨标准煤/台。