山东/济南-2025-09-10 00:00:00
空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目(*****)更正公告
发布时间:********** **:**信息来源:原文链接地址
更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号:*************************
原公告的采购项目名称:空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目(*****)
*****;*****;*****;*****;首次公告日期:****年**月**日
二、更正信息
更正事项:采购文件
更正内容:
*包项目需求和技术方案*货物明细:*;*英寸光刻机,原内容:*.光刻分辨率: ≤ *.* ?*(真空接触、光刻胶厚度≤ * ?*时、等间距图形****/*****=*:*,*****范围内*点); ≤*.* ?*(**?*间隙,光刻胶厚度≤ * ?*时,等间距图形****/*****=*:*,*****范围内*点);****;变更为:*.光刻分辨率: ≤ * ?*(真空接触、光刻胶厚度≤ * ?* 时、等间距图形 ****/*****=*:*,***** 范围内 * 点); ≤*.* ?*(**?* 间隙,光刻胶厚度≤ * ?* 时,等间距图形****/*****=*:*,***** 范围内 * 点);。
*包项目需求和技术方案*货物明细:*;*英寸光刻机,原内容:*.曝光灯:***曝光灯,可通过软件连续调节和设定光强,使用寿命>****小时,无需气体冷却,曝光光强:≥ ****/**^* @*****;≥ *****/**^* @**全波段,光强均匀度:≤ ±*.*%@*英寸;****;变更为:*.曝光灯:*** 曝光灯,可通过软件连续调节和设定光强,使用寿命>**** 小时,无需气体冷却,曝光光强:≥ ****/**^* @*****;≥ ****/**^* @**全波段,光强均匀度:≤ ±*.*%@* 英寸;。
更正日期:****年**月**日
三、其他补充事宜
*****;*****;*****;*****;无
四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称:空天信息大学(筹)
地 址:山东省济南市章丘区大学路*号
联系方式:*************
*.采购代理机构信息
名 称:山东三木招标有限公司
地 址:山东省济南市市中区二环南路****号*楼***室
联系方式:*************
*.项目联系方式
项目联系人:张兆冉
电 话:*************