*.曝光模组： （*）光源：***： *** ** （*）数字掩模分辨率：**** × **** 像素，微镜尺寸*.* μ* （*）大面积观测镜头 （*）光刻镜头*：** ***/***，最小线宽*.* μ*，工作距离** ** （*）光刻镜头*：* ***/***，最小线宽*.* μ*，工作距离** ** *.硬件模组： （*）照明光源：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 （*）对焦模式：支持图像识别对焦 （*）样品操作：支持样品电动旋转 （*）镜头切换：支持光刻镜头电动切换 *.安装要求： （*）温度：** – **℃ （*）湿度：*****; **% （*）电源：*** *，** **

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）