*、真空腔室：真空专用***不锈钢腔室，**************；前开门结构，配内衬防污板； *、真空系统：****/*脂润滑分子泵+**/*旋片式真空泵组成高真空抽气系统，“一低一高”数显复合真空计；配备气动阀； *、真空极限：优于*.*×******；漏率：优于*×********/*（国家标准）； *、抽速：抽气时间：大气压~********小于*****；（氮气破真空）； *、基片台：可放下* **** 向下兼容；旋转：****转（连续可调）；水冷；源基距*** * *****可调，膜厚均匀性重复性优于+/**%； *、蒸发源及电源：独立水冷电极蒸发源*组；*.***蒸发电源恒压恒流模式可选，数量：*台；一托二切换蒸发； *、膜厚监测系统：进口*******公司，显示控制精度*.**埃；配备*支进口*****水冷探头； *、控制方式：西门子***+西门子触摸屏手自动控制； *、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 **、提供尾气排放装置。

*、为提供更好的服务，供应商必须在宁波设有独立法人的分支机构，需提供原厂针对该项目的售后服务承诺书；*、要求供货商在本地有固定服务点；*、中标商需上门安装、调试并提供为期两天的培训；*、质保期内如需返厂维修，供货商承担来回费用。