（*） 设计压力：（******） （*）气路：*路，原料气*路，吹扫气*路 （*）气体管路：****不锈钢材质，*/*****不锈钢反应管 （*）气体控制方式：*套七星华创*******质量流量计控制，流量控制模块质量流量计开启及关闭，响应时间*.**以内，**/*** （*）控制精度：±*% *.*.，控制范围：*.*%*.*. ~ ***.*%*.*. （*）加热炉：*套最高温度***℃；附带预热加热罐及温控系统和集成定制鼓风干燥箱预热系统。 （*）加热炉功率：*.***加热炉温度最高达***度 （*）测温传感器：***** （*）控温精度：±*% （**）反应管：高压片式组件，****材质内径****壁厚***，内部衬石英管（*根） （**）*套炉后空冷盘管冷凝 （**）装置气路和电路外形尺寸：根据客户要求 （**）阀门管件质量流量控制器：*****、北京熊川、华丞电子（七星华创） （**）安全机制：装置设计合理，安全可靠 反应流程：反应气先经过穿板直通后通过过滤器，而后通过减压阀控制每个气路的出气压力，通过截止阀控制气体进气及关闭，随后通过质量流量计控制及显示每路气体流量，每路气体在质量流量计后部装有单向阀，防止各路气体产生干扰。原料气流量计设置有支路，对于系统稳定冲压稳定有一定利处，后进入加热炉反应，反应温度*****℃可控。双加热炉系统。

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