微纳米结构制备系统项目竞价公告
2025-09-03
山西/太原 招标采购
微纳米结构制备系统项目竞价公告
山西/太原-2025-09-03 00:00:00
山西/太原-2025-09-03 00:00:00
微纳米结构制备系统项目竞价公告
发布日期：**********
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| 项目名称 | 微纳米结构制备系统项目 | 项目编号 | *************** |
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 公告截止日期 | ****/**/** **:** |
| 采购单位 | 中北大学 | 付款条款 | 验收合格后，**个工作日内支付全款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 采购预算 | ￥***,***.** | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起*个工作日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 山西省太原市尖草坪区学院路*号中北大学主楼*层 | ||
| 履约保证金 | 无 | ||
| 项目概况 | 本项目旨在以≤****精度实现纳米结构传感器，解决光学光刻精度不足、电子束光刻成本过高及***技术封锁痛点。配套在线检测与**工艺优化，实现高产能及**%良率，突破高深宽比**结构制造瓶颈，支撑纳米器件产线。 | ||
采购清单
*
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求 | |
| 微纳米结构制备系统 | 否 | 台 | * | *、要求提供原厂技术人员现场安装培训，达到用户基本掌握设备的使用方法为标准。 *.售后服务要求 （*）质保期一年（自验收合格之日起计算），质保期内免费保修（人为因素除外），即质保期内对所有货物进行免费无偿维护服务，如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。 （*）服务响应时间,在接到客户要求维护的通知后，由专业人员*小时内响应，**小时内提出具体解决方案，**小时内专业技术人员上门现场解决，使设备尽快恢复正常。 | |
| 参考品牌及型号 | 不限定品牌型号 | ||||
| 技术参数要求 | *、支持母版和压印基底尺寸：最大*英寸直径晶圆，兼容*英寸、*英寸直径晶圆。 *、压印过程中实现全自动压印和脱模过程，无需手动脱模。 *、工作原理：采用高精度辊轮系统作为压印动力，实现***** ** *****的渐近式压印。 *、压印压力：压印压力可在 ************** 之间通过软件设置，精密比例阀控制压力。 *、压印速度可在软件中设置，设置范围*.******/*。 *、设备配置主机和独立的工作模具更换单元。 *、工作模具使用***作为工作模具胶的支撑衬底，***厚度可使用*****或*****，***尺寸为**。 *、曝光单元：光源波长*****，最大功率可达*****/***，曝光均匀性≥**% *、基底加热系统：软件控温，加热温度室温至 **°*，温度均匀性：±*%，温度设置精度：±*°* **、压印参数可在软件控制界面编辑，存储，压印参数配方可保存 *** 组，可对参数配方进行调用，修改，删除等操作。 **、可按照设定的压印过程自动执行，也可在 ******* 界面中对设备动作单独操作。 **、带有各报警功能，当操作者误操作或者设备故障时会弹出相应报警对话框，便于及时处理 问题压印过程实时动画演示，便于操作者了解工艺进程。 **、转印精度误差：小于±*% **、残余层厚度：可达****及以下。测试方法为连续压印**片，选取第*、*、**片压印片，片内测试任意*点。 **、残余层均匀性：验收过程中厂家可证明 ***** 晶元面积内优于±****（非设备极限，扣除测量以及匀胶产生的误差） **、压印线宽：压印结构精度最小可达****，验收过程中由厂家提供模具，证明可压印****结构精度 **、压印结构深宽比：*.*:* | ||||
该项目其它公告
